超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 棾 暋暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 棾 暋 暋 暋 斖斸旘棶棽棸棻椄 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸棾灢棸椂椃棽灢棸椄 超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具 灣 棳 棳 棳 刘 冲 孟凡健 梁 超 李经民 暋 暋 棬 棳 棭 大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室 辽宁大连 棻棻椂棸棽棿 椇 暍 暎 棳 摘要 聚合物微流控芯片对键合精度 键合强度及键合效率要求高 为了避免超声波键合中微通道被堵塞 解决键合过 暍 棳 程中由调平精度和高频振动引起的键合强度低 键合压力分布不均的问题 设计了一种基于超声波键合的熔接结构和压 暎 棳 棳 力自平衡夹具 首先 利用感压胶片对压力自平衡夹具和不带自平衡功能的夹具的压力分布进行测量 并定义了压力分 暎 棳 棳 布系数进行量化 其次 利用两种夹具分别对设计芯片进行超声键合 并利用工具显微镜对焊线和微通道截面进行观 暎 棳 暎 椇 测 最后 对两组芯片进行键合强度测试和密封性测试 实验结果表明 所设计的熔接接头结构对微通道的控制精度可 暎 棳 棳 棳 达 棽棶棸 旐 压力自平衡夹具结构简单可靠 可提高压力均匀性 棾椀棶棽棸棩暙棿棾棶棻椄棩并使得焊线均匀一致 同时可提高键 毺 棳 暎 暍 合强度 棻椀棶棾棩暙棿椀棶棻棩并保证密封性 该熔接结构和压力自平衡夹具可满足聚合物微流控芯片的控制精度 键合强 暍 暎 度 压力均匀性及其密封性的要求 椇 椈 椈 椈 关 键 词 微流控芯片 超声波键合 熔接结构 压力自平衡夹具 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斅椀椀椆斣斘棿棸椀暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸棾棶棸椂椃棽 斄 旓旈旑旚旙旚旘旛斻旚旛旘斿斸旑斾旙斿旍旀灢斺斸旍斸旑斻旈旑 旈 旉 旂旉旂 斺斸旙斿斾旓旑旛旍旚旘斸旙旓旑旈斻斺旓旑斾旈旑旂 灣