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Shmoo 图例---Margin Test (潜力测试） 用于评价芯片实际能力，通常使用SHMOO PLOT 工具进行分析 AC参数测试 * Shmoo 图例 二维Shmoo 同时改变两个 相互关联的参 数，执行功能 测试 红色FAIL区域 绿色PASS区域 AC参数测试 * ATE 测试 生产测试 （mass production） 工程/评估测试 （engineering/evaluation） ATE测试简介 * 生产测试流程 基本 电性能 测试 重要 AC 参数 测试 功能 测试 连接性测试、漏电流测试、IDD测试 时序宽松、 时序严格、 基本功能、 重要的POPULAR PATTERN 选用engineering的测试方法对重要参数进行测试 ATE测试简介 * 工程测试 工程测试（engineering) DC参数 测试 AC参数 测试 功能 测试 工程测试 * 谢谢! * * 技术交流 内存ATE测试 2007年 3月 服务客户，精益求精 * 概 览 ATE测试和ATE测试设备 ATE测试设备特点 HP83K/T5592简介 ATE测试简介 * ATE测试 什么是ATE测试？ ATE 是 Automated Test Equipment 的简称，即自动测试设备，它是对内存条或SDRAM芯片的品质进行检测的测试设备。 ATE 测试 即使用自动测试设备对内存条或SDRAM芯片的品质进行测试。 * ATE测试 ATE 的工作原理： 被测器件 （DUT） 测试系统（ATE） Test Program Results Input Output * ATE测试设备 高档的ATE测试设备有： Verigy公司的93K系统 Advantest公司的T5581/T5585/T5592系统 KINGTIGER公司的KT－2A PRO系统 特点： 精度高 速度快 完整的电性能、功能和时序测试及分析 价格昂贵 专业的厂商使用 * T5592系统 T5592系统： * T5592系统 * T5592系统 * T5592系统 * T5592系统 * T5592系统 * KT-2A PRO系统 * ATE测试设备 ATE测试设备的特点 高精度的定时性能 大向量内存 可编程的电流负载 Per Pin的时序与电平/电压 高价格 * T5592简介 T5592测试系统简介 * T5592参数简介 能够测试各种存储器（专用） 最高测试频率可以达到1.066GHz 定时精度达到150ps(OTA) 最大可测试芯片64颗，DDR内存条16条（2Station) Driver与双向口分开，节约成本（存储器特点专门设计） T5592简介 * 硬件部分 T5592简介 * ATE测试简介 ATE测试简介 * T5592测试项目 连接性测试 漏电流测试 电源电流测试 功能测试 重要DC AC参数测试 SPD的读写测试 T5592简介 * 连接性测试原理 ATE测试简介 * ATE测试简介 漏电流测试原理 * ATE测试简介 IDD（动态电源电流）测试原理 * 功能测试原理 时间条件 电压条件 波形条件 逻辑值 驱动器 （ATE） 比较器 被测试器件 （DUT） 图形文件 RESULT: P/F 芯片 电源 ATE测试简介 * 功能测试Pattern — Check-board ATE测试简介 * 功能测试Pattern — March-6N ATE测试简介 * DC参数测试 DC 参数 测试 电压参数测试 电流参数测试 测试方法： 1。加电压测电流、 加电流测电压 2。改变DC参数，进行 功能测试，找到P/F 转变点 3。运行pattern程序， 直接对参数测量 ATE测试简介 * DC测试 ATE测试简介 目的：检测芯片的各项电气性能 VSIM ISVM DC test unit * DC参数测试 电压参数测试 主要电压参数 电源电压VDD、VDDQ、VREF 输入电压VIL、VIH 输出电压VOL、VOH 测试目的： 评估DUT能正常工作的电压范围 评估输入管脚区分输入逻辑状态的能力 评估输出管脚的输出相应逻辑电压的能力 * 电流参数测试 主要电流参数 电源电流IDD 输入漏电流IIL、IIH 输出漏电流IOL、IOH、IOZ 测试目的： 评估DUT的漏电流大小 评估供给DUT工