电子显微镜分析及应用.pptx

电子显微镜分析应用;目录;电子显微镜与光学显微镜的对比;电镜分类;电子显微镜成像原理;扫描电子显微镜（SEM，Scanning Electron Microscope）;透射电子显微镜（TEM，Transmission Electron Microscope ）;电子探针显微分析（EPMA，Electron Probe Micro-Analysis）：;扫描透射电子显微镜（STEM, Scanning Transmission Electron Microscope）;电子显微镜构成;SEM的构成;TEM构成;EPMA构成;SEM特点及应用;局限性 (1)分辨率还不够高(1-10nm)； (2)只能显示样品的表面形貌，无法显示内部详细结构。 应用 ①观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。 ②进口材料断口的分析。由于图象景深大，故所得扫描电子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，扫描电镜所显示饿断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。 ; ③直接观察大试样的原始表面，它能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子象）。 ④观察厚试样，其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。 ⑤观察试样的各个区域的细节。由于工作距离大（可大于20mm）。焦深大（比透射电子显微镜大10倍）。样品室的空间也大。可以让试样在三度空间内有6个自由度运动（即三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。 ; ⑥在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。 ⑦进行从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。这对进行事故分析特别方便。 ⑧观察生物试样。因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。 ⑨进行动态观察。在扫描电镜中，成象的信息主要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平，即使高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进行一些动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观察相变、断烈等动态的变化过程。 ;;TEM特点及应用;TEM特点;;TEM应用领域;EPMA特点及应用;EPMA特点及应用;电子探针的最早应用领域是金属学。对合金中各组成相、夹杂物等可作定性和定量分析，直观而方便，还能较准确地测定元素的扩散和偏析情况。此外，它还可用于研究金属材料的氧化和腐蚀问题，测定薄膜、渗层或镀层的厚度和成分等，是机械构件失效分析、生产工艺的选择、特殊用材的剖析等的重要手段。 ;EPMA与其他设备的联用;STEM特点及应用;电子显微镜分布（武汉）;测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心 型号：JSM-5610LV扫描电子显微镜 生产国别厂家：日本电子株式会社 主要技术指标： 高真空模式分辨率：3.0nm；低真空模式分辨率:4.0nm； 放大倍数: 18X～300,000X；加速电压: 0.5KV-30KV；低真空度：1Pa～270Pa；图像种类:二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像； 图像输出方式：存盘、打印、照像。 应用： JSM-5610LV扫描电子显微镜配有低真空系统，对非导电样品可以直接进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术有着突出的作用；对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经过特有的简单处理后，也可以直接观察。;测试地点：华中科技大学分析测试中心 产品型号: Sirion 200扫描电子显微镜 生产厂家:荷兰FEI公司 仪器介绍:Sirion场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析，可对晶体样品的晶粒取向和取向关系等进行分析，还可以获取的电压下薄样品的明/暗场扫描透射像。 技术参数:分辨率：1.5nm ( 10KV)；2.5nm (1KV)；3.5nm (500V)；标样放大倍数：40倍～40万倍加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调倾斜角度：-10°～45°；EDAX能谱能量分辨率130eV，成分范围B~U，束斑影响区1μm左右STEM附件可同时放置8个样品进行扫描透射观察，对低原子序数样品也可获得较好衬度的暗场像，特别适合高分子材料、生物材料的观察