10．6ijlm激光器一级输出高衍射效率闪耀光栅的研制资料.pdfVIP

维普资讯 光 电 子 ·激 光 第 15卷 第 10期 20；)4年 10月 JournalofOptoelectronics L‘aser · 光电子器件和系统 · 10．6IJLm激光器一级输出高衍射效率闪耀光栅的研制 巴音贺希格一 ，高键翔，齐 向东 ，李春启 (中罔科学院长存光学精密机械与物理研究所，吉林 K春 130033) 摘要：建立了文际刻划光栅的物理模型，给出了相应的衍射效率表达式，斤研制…了在 IittFOW安装下 一 级衍射效率达到97．： 的夫功率 10．6 m红外激1)l(=器用反射式闪耀光栅。实际刎划 栅通常郜俘存 零级 f【i【，采用傅里叶分析力法 町以推导…计算带有零绒面的闪耀光栅衍射效率的一般表达式．…理论分 析可知．零级面是造成l耀光栅衍射效牢 F降的原 之一。存 l艺过程中．通过加人刻划吼载使零级面 减小．JJ口人侧向压力任化对l耀向的抛光等，是提高比栅划槽质量和衍射效率的有效途径。 关键词 ：廊用光学 ；红外激光器 ；闪耀 栅 ；衍射效 棼 中图分类号：0436．1；()38． 文献标识码：A 文章编号：1005—0086(2004 M anufactureforHigh Diffraction EfficiencyGratingin theFirst—orderOutput Of10．6 m Laser Bayanheshig一 ．GA()Jian—xiang．Q1Xiangdong．LIChun—qi (ChangchunInstituteof()plies，FineMechanicsandPhysics．FheChineseAcademyofScienc’es．Chang chun 1：{()()33．China) Abstract：Thephysicalmodelofrealruledgrating ispurposed·the c0rresp0ndingexpressionofdiffraction efficiencyisgiven·andreflectingblazedgrating·whichisfixedonthe 10 6pm IR laserwith9 percentin thefirstorderdiffractionefficiency inLittrow form ·wasmade There isthezero—orderplane intherealruled grating·wecandeducedthegeneralexpressionofdiffractionefficiencyoftheblazedgratingwiththe zero— orderplaneby Fourieranalysismethod Accordingtothe theoryanalysiswe can see thatthe zero—order planeisoneofallthereasonsthatcauseddecreaseinthediffractionefficiencyoftheblazedgrating Inthe processoftechnology·itisaneffectivemethodforincrease ingroovequalityanddiffractionefficiencythat increasingruledloadmadethezero—orderplanedecreaseandenhancinglateralpressureintensifiedpoliture toblazedplane Keywords：appliedoptics；IR laser~blazedgrating；diffractionefficien