- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
第 卷 第 期 应用化学 伙
‘ ‘
! ! ’ 气
年 月
氢化非晶硅薄膜的电场诱导锉离子注人及其 伏特性
‘
王 宝辉 王 德军 李铁津 耿新华 刘世 国 孙 云 孙钟林
学化学系 长 南开 学 电子研究所 天津
吉林大 春 大
, , 一 ,
要 采用 化学方 在电场诱导下 对氢化非晶硅 膜进行锉离子注 并用 电
摘 电 法 薄 入
化学方法对不 同 件下处理的 一 薄膜的 性质和注入机理进行了研 究 结果表明 处理 电 ,
条 伏
位小于一 , 铿 子注入 明显 经过注入的 膜, 响应提高 左右
时 离 薄 伏
关键词 非晶硅薄膜 锉 子注入, 响应
离 伏
一 , ,
氢化非晶硅 是新型半导体材料 主要应用于太阳能 电池 我国小面积非晶硅太阳
「‘ , , 、 ,
已 」 川
能电池转换效 超过 人 采用 种方法 如 子 杂 导 电 结 和 面
率 们 各 离 掺 膜 构 表 修饰
一
提高 电池的转换效率 电化学注入技术是在 电化学作用下将 种元素或 子
来 薄膜 某 离
,
, , ,
注入到材料表面或者 内部 改变材料的物理
文档评论(0)