工业硅分析方法及研究进M.pdf

　２０１５ １２ Ｄｅｃ．２０１５ ４４ ６ （ ２５５ ）　　　　　　　　　　　　ＹＵＮＮＡＮＭＥＴＡＬＬＵＲＧＹ　　　　　　　　　　　　　Ｖｏｌ４４．Ｎｏ６（Ｓｕｍ２５５）  １ ２ ， （ ， 　 　６５００３１） 　　 　 ： ， 。 ： ； ； ：Ｏ６５　 ：Ａ　 ：１００６－０３０８（２０１５）０６－００５３－０５ ＴｈｅＡｎａｌｙｓｉｓＭｅｔｈｏｄａｎｄＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｏｆＩｎｄｕｓｔｒｉａｌＳｉｌｉｃｏｎ １ ２ ＲＵＡＮＳｈｕ－ｃｈｅｎｇ，ＷＡＮＧＪｉｎ－ｒｏｎｇ （ＫｕｎｍｉｎｇＭｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｋｕｎｍｉｎｇ，Ｙｕｎｎａｎ６５００３１，Ｃｈｉｎａ） ＡＢＳＴＲＡＣＴ：Ｔｈｅｃｏｍｍｏｎａｎａｌｙｓｉｓｍｅｔｈｏｄｓａｎｄｔｈｅｄｏｍｅｓｔｉｃｒｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓｏｆｉｎｄｕｓｔｒｉａｌｓｉｌｉｃｏｎｉｓｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ， ａｎｄｔｈｅｆｅａｔｕｒｅｓｏｆｃｏｍｍｏｎｍｅｔｈｏｄｓａｒｅｒｅｖｉｅｗｅｄ． ＫＥＹＷＯＲＤＳ：ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌｓｉｌｉｃｏｎ；ｄｅｔｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ；ｒｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓ 、 Ⅰ ， １　 　 、 、 、 、 ， 、 Ｘ 、 、 。 ， ９８％ ， ， 、 ， ， ， 、 、 、 、 、 、 ， ［１］ ， 。 ， ， ，。 ， ２１　 ， 、 、 ， ＧＢ／ 。