退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响.PDF

第 30 卷  第 3 期 中  国  表  面  工  程 Vol. 30 No. 3 2017 年 6 月 CHINA SURFACE ENGINEERING June 2017   doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20161117005 退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响 刘正兵 ，周升国，吴杨敏，王顺才1 1 1 2 (1. 江西理工大学 材料科学与工程学院，江西 赣州 341000；2. 南安普顿大学 国家先进摩擦学中心，英国 南安普顿 SO17 1BJ) 摘 要: 为研究退火处理对WC-DLC薄膜结构与性能的影响，采用磁控溅射技术在高速钢表面沉积WC-DLC薄膜，并 作不同温度下的退火处理，对不同温度退火处理后的WC-DLC薄膜的结构、摩擦学性能与耐腐蚀性能进行系统表征。 结果表明：WC-DLC薄膜呈现出非晶态特征，随着退火温度的上升，薄膜中sp-C相对含量下降；当退火温度在250 ℃3 −7 3 时，WC-DLC薄膜在大气环境下与去离子水环境下分别表现出最优的摩擦学性能，磨损率分别为1.25×10  mm /Nm −7 3 与1.02×10  mm/Nm。同时，当退火温度低于250 ℃时，WC-DLC薄膜的耐腐蚀性能无明显变化，但当退火温度高于 250 ℃时，WC-DLC薄膜的耐腐蚀性明显下降。退火处理对WC-DLC薄膜的热稳定性、摩擦学性能及耐腐蚀性能有重 要影响。 关键词: WC-DLC薄膜；退火；摩擦学性能；耐腐蚀性能 中图分类号: TG174.444 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2017)03–0016–09 Effects of Annealed Treatment on Structure and Performance of WC-DLC Films LIU Zheng-bing, ZHOU Sheng-guo, WU Yang-min, WANG Shun-cai1 1 1 2 (1. School of Materials Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000, Jiangxi;   2. National Centre for Advanced Tribology at Southampton (nCATS), University of Southampton, Southampton SO17 1BJ, UK) Abstract: In order to stud