线性渐变滤光片光谱特征参数测试方法.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 46 11 Vol.46No.11 年 月 2017 11 ACTAPHOTONICASINICA November2017 : / doi10.3788 zx1112002 g 线性渐变滤光片光谱特征参数测试方法 , , , 王世丰 袁艳 苏丽娟 安达 ( , ) 北京航空航天大学 精密光机电一体化教育部重点实验室 北京 100191 : , 摘 要 为了能够精确地测量线性渐变滤光片的光谱特征参数 提出一种线性渐变滤光片的透过率检测 , , 方法 该方法在测量时 用光谱仪分别采集滤光前和滤光后的光信号 计算得到测量点的光谱透过率 调 . . , , , 节微动位移平台 对滤光片样品进行多点扫描测量 数据处理后 得到线性渐变滤光片的光谱特征参数. , , 推导了测试光谱透过率的理论公式 仿真结果表明该方法的测量精度随着线性色散系数的增大而减小 -1 · , 在线性色散系数小于 时 该方法测量的中心透过率和带宽的误差小于 根据该测量 1.5nm mm 0.4%. , 方法设计了相应的检测系统 实际测量了线性渐变滤光片的光谱特征参数. : ; ; ; ; 关键词 线性渐变滤光片 光谱透过率 光谱特征参数 检测方法 线性色散系数 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) O433.1 A 1004-4213201711-1112002-7 MeasurementoftheSectralCharacteristicParametersofLinearVariableFilters p , , , WANGShi-fen YUANYan SULi-uan ANDa g j ( , , Ke Laborator o PrecisionO to-mechatronicsTechnolo o Ministr o E