大口径光学研抛机器人磨头气动压力控制系统设计与实现-控制工程专业论文.docx

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2018-11-28 发布于上海
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大口径光学研抛机器人磨头气动压力控制系统设计与实现-控制工程专业论文

the pressure is adjustable within the range 0 to 350 N and the steady pressure fluctuation is less than 1N. The system has good robustness against the enous disturbances piston of cylinder. System basically meet the stability and accuracy requirements of polishing pressure. Keywords: Polishing, pressure Control, Polishing Robot, PID Control, Pressure detection 目录中文摘要..........................................................................................................................................I 英文摘要........................................................................................................................................ II 1 绪论 ...................................................................................................................................... 1 1.1 课题的背景及意义 .................................................................................................................. 1 1.2 国内外光学研抛技术的研究现状........................................................................................... 3 1.2.1 手工研抛 ............................................................................................................................ 3 1.2.2 CCOS 研抛 4 1.2.3 应力盘研抛 ........................................................................................................................ 5 1.2.4 浮法抛光 ............................................................................................................................ 6 1.2.5 磁流变抛光 ........................................................................................................................ 7 1.3 主要工作内容 ........................................................................................................................... 8 1.4 本章小结 .................................................................................................................................. 8 2 大口径光学研抛机器人技术方案 ........................................................................... 9 2.1 光学研抛机器人总体方案