GB/T 36401-2018表面化学分析　X射线光电子能谱　薄膜分析结果的报告.pdf

ICS71.040.40 G04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT36401 2018ISO134242013 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告 — — Surfacechemicalanalsis X-ra hotoelectronsectrosco y yp p py Reortin ofresultsofthin-filmanalsis p g y ( : , ) ISO134242013IDT 2018-06-07发布 2019-05-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — / : GBT36401 2018ISO134242013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 缩略语 …………………………………………………………………………………………………… 1 5 XPS薄膜分析综述 ……………………………………………………………………………………… 1 5.1 引言 ………………………………………………………………………………………………… 1 5.2 常规 XPS…………………………………………………………………………………………… 2 5.3 变角 XPS…………………………………………………………………………………………… 3 5.4 峰形分析 …………………………………………………………………………………………… 3 5.5 可变光子能量 XPS………………………………………………………………………………… 3 5.6 溅射深度剖析 XPS………………………………………………………………………………… 3 6 样品处理 ………………………………………………………………………………………………… 3 7 仪器和操作条件 ………………………………………………………………………………………… 3 7.1 仪器校准 …………………………………………………………………………………………… 3 7.2 操作条件 …………………………………………………………………………………………… 4 、 、 …………………………………………………… 8 XPS方法 实验条件 分析参数和分析结果的报告 4 8.1 XPS薄膜分析方法 ………………………………………………………………………………… 4 8.2 实验条件 …