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semi 1 设备安全标签标准

Licensed by SEMI to Haowen Zhao Downloaded: 2010-07-15 Single-user license only, copying and networking prohibited. SEMI S1-1107 設備安全標籤安全基準 本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在 2007 年 9 月5 日由全球稽 核與檢討次委員會認可及發行。並在 2007 年 10 月於 發行線上版本,同年 11 月發行光碟版。本基準原始版本於 1986 年發行,上次修正版為2001 年 7 月。 1 目的 1.1 本基準提供設備安全標示之內容及格式,並提出標誌範例以供使用。 1.2 本基準欲提供給設備製造商建立安全標籤以警告人員該設備之相關危害。 1.3 本基準欲提供半導體工業特定安全標籤之國際統一格式。 2.範圍 ® 2.1 本基準欲協助發展半導體工業生產機台之安全標籤。 註 1 :本基準也可用於半導體生產 機台設置場所內安全標示之設計參考。 註 2 :本文件所提供之基準也適合用於安裝指南、操作及維修手冊及其他類似的產 品相關書 I 面資料內的安全訊息傳達。請參考美國國家標準 ANSI Z535.6”產品安全用於產品手冊,操作 及其他類似資料資訊”。 註 3 :本基準也適用於設備上的電腦使用端介面之設計。 註 4 :為 了表現更一致的使用端介面,建議使用在此介面之危險、警告及注意等字眼,僅限 於本基準給予它們的定義及用途。 2.2 本文件包含以下章節: 1 目的 2 範圍 3 限制 4 參考標準 M 5 專有名詞 6 一般條款 7 格式 8 標誌文字 9 符號 10 文字訊息 11 字 E 12 顏色 13 排版 14 翻譯 15 相關文件 附錄 1—安全符號 相關資訊 1 —最小字體高度計算 相關資訊 2 —標誌文字“注意”格式 S SEMI S1-1107 © SEMI 2006 Licensed by SEMI to Haowen Zhao Downloaded: 2010-07-15 Single-user license only, copying and networking prohibited. 相關資訊 3 —標誌文字翻譯 注意: 本安全基準並不在於滿足所有與此基準用途相關的安全議題,建立適當的安全衛生行 為及決定法規優先限制的適用性是本基準使用者的責任。 3 限制 3.1 半導體生產設備使用的多種零件與配件上的安全標籤,可能是為符合其他國際標準之一 致性所設計及張貼。本基準並不意圖取代這些標籤的要求。 3.2 某些安全標籤格式及內容是受其他合適的標準及基準或法規所規範(如特定國家所使用的 雷射標籤、化學品危害通識標籤)。本基準並不意圖取代這些標籤的要求。 3.3 新的安全標籤及重新設計的安全標籤需遵照必威体育精装版版的 SEMI S1。本基準並不意圖溯及以往 4 參考標準 ® 4.1 SEMI 標準 SEMI S10 — 風險評估安全基準 4.2 ANSI 標準 1 ANSI Z535.1 — 安全顏色編碼 I ANSI Z53

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