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电子束蒸镀机使用手册

聖約翰科技大學 精密儀器中心 撰寫:辜誌良 電 子 束 蒸 鍍 機 使 用 手 冊 操作前請於紀錄表示填入使用者資料、開始時間、結束時間 1 文件編號:HB-008 更新日期: 2006/6/24 聖約翰科技大學 精密儀器中心 撰寫:辜誌良 ㄧ.設備介紹 1.1 控制箱開關 POWER:總電源開關 CONTROL:系統控制開關 CV-6S:電子槍控制開關 1.2 真空計 顯示高真空 顯示低真空 1.3 溫度顯示器 2 文件編號:HB-008 更新日期: 2006/6/24 聖約翰科技大學 精密儀器中心 撰寫:辜誌良 1.4 膜厚控制器 1.5 微調手動控制器 立即終止鍵(嚴禁使用) 電流遞增鍵 電流遞減鍵 1.6 電子槍控制器 3 文件編號:HB-008 更新日期: 2006/6/24 聖約翰科技大學 精密儀器中心 撰寫:辜誌良 1.7 CV-6S 電源供應器 二.開機程序 將控制箱下方的【POWER】、【CONTROL】2個開關打開,接著再將觸控式人機界面 操控器打開,此時觸控式人機界面操控器會出現開機畫面。 2.1 人機畫面 2.1.1

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