檢視開啟-崑山科技大學電機工程系熱脫附機台真空性能診斷指導.pdfVIP

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2018-08-24 发布于湖北
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檢視開啟-崑山科技大學電機工程系熱脫附機台真空性能診斷指導

崑山科技大學電機工程系熱脫附機台真空性能診斷指導老師: 張慎周副教授製作學生: 李政鴻 C930J009 邱永龍 C930J041 洪翊捷 C931J003 中華民國九十四年十二月 1 摘要本文最主要的目的是做系統的真空性能診斷，對真空系統做實際之真空性能的量測，如紀錄壓力對時間的變化，總抽氣時間，並藉由對真空系統加熱時間的不同改變真空系統抽氣速率，再經過真空模擬軟體「 Vactran 」模擬，藉著軟體內建應用較為普遍的氣體模型，去模擬出一些理論值，如：壓力對時間的曲線，將模擬出的壓力對時間曲線，與實際紀錄的抽空時間做一個比對，會產生一個誤差值，此時使用軟體的氣體負荷予以修正，氣體負荷的修正釋氣率、滲透率與漏氣率，軟體修正後的理論值再與實際紀錄的抽空時間做比對，再藉由修正後所加入的氣體負荷之結果予以探討，藉著探討形成氣體負荷的原因，以達到對真空系統的診斷。 2 目錄摘要 2 目錄 3 圖目錄 6 表目錄 7 第一章緒論 8 第二章真空系統理論基礎 9 2.1 真空原理 9 2.2 真空的區分 9 2.3 壓力 10 2.4 氣體分子平均自由徑 10 2.5氣流通量 12 2.6 氣導 13 2.7抽氣速率 14 2.8抽真空時間 15 2.9氣體負荷