CP-COP-025B-电池制造二部-单晶-PSG作业指导书.docVIP

PAGE SHAPE \* MERGEFORMAT ■Q□E□S文件编号：CP-COP-025文件名称电池二部单晶PSG作业指导书校订版别：B 页次/总页次： PAGE 4/ NUMPAGES 9 1.目的：　　 控制不合格品的标识，记录，评价，隔离和处置，防止不合格品被误取误用，确保公司产品质量；同时规范各个相关部门及人员的职责，以免出现控制盲点。　2.范围：　　 适用于本公司所有被判定为不合格之原材料零件，半成品及成品。　3.定义：　　 不合格品： 指没有达到公司质量规格要求的原料，半成品及成品。　4.作业流程说明：流程责任单位参考文件窗体不合格品记录不合格品记录各权责单位来料检验控制程序巡检管理程序成品与出货检查控制程序 各记录表识别.识别.隔离各权责单位产品标识与可追溯性控制程序“红色”不合格票通 通 知品管课相关单位1.来料检查控制程序2.巡检管理程序3.出货检查控制程序 各检验记录表检 检 讨各权责单位检验基准不合格品控制程序各检验记录表处 处 置各权责单位1. 质量管理体系改进控制程序检检 验品管课1.来料检查控制程序2. 巡检管理程序3.出货检查控制程序各检验记录表　6.作业说明:　　6.1不合格品记录:　　所有零件、半成品、成品有不符合规定,规格要求,均须记录不良原因,并应立即采取下列步骤.6.2识别,隔离:厂区各部门得规划不合格品区域. 6.2.1零件:　　　 GM-012B修订日期版本 修订说明 2010-2010-11-AB 新版制定修订5.2.1（b）、5.2.2（a）内容修订部门编 制 审 核 批 准 电池生产二部目的规范操作作业，指导操作员的操作方法，操作步骤及操作注意事项。范围本指导书适用于硅片湿法刻蚀工序。定义无职责 1.所有操作人员都必须严格按照本档进行操作。 2.在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。作业内容5.1操作前准备工作：5.1.1 正确穿好工作服，鞋，戴好手套、口罩。如下图。5.1.2 生产前工具的准备工具要求：片盒、乳胶手套、一次性口罩、酒精、无尘布、上料盒、下料盒、四探针测试仪、电子天平。 乳胶手套 酒精 无尘布上料盒 下料盒 片盒四探针测试仪 电子天平5.1.3 设备状态检查a.检查纯水，压缩空气是否正常检查各工艺参数是否在工艺所要求的参数； b.检查外围冷却水温不能高于18度，进出水压差不少于3KG；c. 清理各工艺槽的碎片，点击配槽完成相应工艺槽的配液；d. 检查排风是否正常。5.1.4 5Sa. 每个班工作前用酒精擦拭上下料传动，工作台；b. 每次换液时将承载盒做统一清洗。5.1.5 操作前的准备工作流程：a. 排液进入主页面。如下图。点击相应槽体（例如槽体3）。如下图。单击“废液排放”，然后点击起动。如下图注意，3号槽与7号槽的浸泡区排放不会自动结束后，需要在槽体排放结束后手动结束其浸泡区排放。b. 槽体清洗点击进入相应槽体，然后点击槽体清洗，然后点起动。如下图。c. 配槽在确定槽体清洗后，废液已经排放干净。然后点击进入相应槽体。如下图。在确定配槽参数无误后，点击配槽，然后点起动。如下图。d. 启用自动模式在配槽结束后，返回主页面，然后点击“手动停止”，然后“Yes”。如下图。手动停止后，点击“自动起动”。如下图。5.2实际操作5.2.1 上料a. 从去扩散传递窗领片 ，仔细核对片子的数量与流程卡（填写是否完整）；b.从片盒中取出原硅片，逐片放在轨道上，每次取片不超过50片。注意，硅片的扩散面向上。每道硅片之间距离应保持1-2cm 如下图。5.2.2 清洗流程a. 每隔1小时观察刻蚀槽液面有无上涌，每隔四个小时检测一次减重和方阻变化值（方阻上升2-6，减薄量控制在0.04-0.10g）；b. 检查刻蚀槽温度，超出工艺规定范围时立即停止生产，待温度恢复正常后再上片； c. 检查各槽喷淋管口有无堵塞；d.检查各槽风刀运行状况，确保吹干硅片（硅片表面及后边缘无明显水珠）。5.2.3 下料 a. 下料时将硅片扩散面向