北航课件-薄膜制备与分析课堂讲稿(第一讲).pptVIP

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2018-06-14 发布于未知
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北航课件-薄膜制备与分析课堂讲稿(第一讲).ppt

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第一讲基本概念、基本数据、基本公式 001734 薄膜制备实验 191706 薄膜制备课堂主讲教师：张维佳实验教师：张维佳，于磊 1.基本概念，基本数据，基本公式由理想气体状态方程：气体质量摩尔质量气体常数阿伏伽德罗常数玻尔兹曼常数总分子数气体密度 (个/米3) 注： (个/米3) 1帕(Pa)=1牛顿/米2=1千克/米.秒2 若 P = 一个大气压则: 在T=293K(室温)有： ①气体密度方程：若则: 在T=293K(室温)有： (残余分子) ② 赫兹-努曾方程：单位时间内在单位面积上碰撞的分子数为：证明如下：设单位时间内vx~vx+dvx的分子在单位面积上碰撞的分子数为dΓ. 所以，在dt内vx~vx+dvx的分子碰撞dS的分子数dNC为：分子数密度分子平均速率证毕. ③ 气体分子碰壁数率N公式单位时间内在单位面积上碰撞的分子数为：证明如下：赫兹-努曾方程气体常数阿伏伽德罗常数气体摩尔质量证毕. 证明如下：由大学物理知，气体分子平均自由程为：分子直经∝10-10 m (个/米3) 由 (个/厘米3) ④ 气体分子自由程公式 (室温T=25℃=298K) 证毕. 可见：压强越小，平均自由程越大。真空压强单位： 1Pa(帕)=l牛顿/米2 1mmHg(毫米汞柱)=l33.3Pa 1Torr(托)=1/760 atm=l33.3Pa 1bar(巴)=105Pa 1atm(一个大气压)=101308Pa 真空程度区域划分：压强(Pa) 平均自由程(cm) 超高真空 ≤10-6 ≥105 10-1-10-6 5-105 高真空 ≥103 ≤10-4 粗真空 103-10-1 10-4-5 低真空第一讲基本概念、基本数据、基本公式