积体电路制造业显影制程废水厌氧处理工程.PDFVIP

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路造影程水氧理工程俞庭旭李清屏游惠宋世界先路股份有限公司世界先路股份有限公司水之源企股份有限公司摘要前言路生程常使用氧化四甲子是近年成最快速的基影由於近年保意高路造更是在子中有重要地位因此保署增光科污水下水道系和著能的增加路程所使用的影液晶造的放流水新竹科管理局也氧化四甲基修改科工污水理及下水道使用管理用量也同步增加由於法以保法相水入二段管制署公告之化需氧量分析法多商使用後而相含排放水在台已有多的液未妥善理即行排放造成水使用氧技理包含影等合水但在中含有高度的有氮承受水所可能造成的路多使用物化方式

積體電路製造業顯影製程廢水厭氧處理工程 1 2 3 俞庭旭 李清屏 游惠宋 1 世界先進積體電路股份有限公司tsyu@.tw 2 世界先進積體電路股份有限公司 cpli@.tw 3 水之源企業股份有限公司 hueysongyou@ 摘要

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