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四川交通职业技术学院传感器和检测技术公开课:电容式传感器01
第4章 电容式传感器; 概述;4.1 电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;为防止击穿或短路,极板间可采用高介电常数的材料(云母、塑料膜等)作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍,其击穿电压不小于1000 kV/mm,而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片,极板间起始距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20~ 30 pF之间,极板间距离在25~200μm的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微位移测量中应用最广。;4.1.2 变面积型电容式传感器 上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变,从而改变电容量。;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理和结构;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题; 兹的频率下工作,特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。 ●可以实现非接触测量,具有平均效应 例如非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题;4.3 特点及应用中存在的问题
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