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Fortix自动上下料系统manual.docx

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    system overview（太阳能电池自动上下料系统)本手册提供指导用户正确的操作和维护太阳能电池自动装载系统。该系统配套Roth Rau PECVD系统。2个100片的cassette magazines用来装载硅片，硅片通过传送带传输。当传送带上有5片硅片时，主机械手抓起传送至托盘。当硅片装满托盘，它会被装载到Roth Rau PECVD系统。PECVD工艺结束后，托盘通过底部的传送带由Roth Rau PECVD系统传送到unloading系统。然后机械手每次抓起5片wafer,并转移到2个互相交替卸载的输送机。每个硅片通过翻转单元传送到stack magazines。卸载的机

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