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高精度衍射光栅干涉仪的研制
《高精度衍射光栅干涉仪的研制》
刘玉圣，范光照，陈叶金
合肥工业大学仪器科学光电工程学院，合肥230009; 2.台湾大学机械工程学系，台北106)
光栅干涉仪的工作原理
He-Ne激光干涉仪:先对一可变长度的工作光束和一恒定长度的基准光束进行干涉，然后计算这两束光之间的相位差，从而获得测量值。而光橱干涉仪则是通过衍射到标尺光栅上两束光的干涉，然后计算相位差而获得测量值。
用相干光源的光栅干涉仪
译自美《精密工程》1992
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