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目录
目录 1
1.概述 2
2.技术规范 2
A．真空室 2
B.加热区 3
C.泵系统 4
D.气淬系统（氮气或氦气） 4
E.内置水冷系统 5
F.控制系统 5
F1.温控仪 5
F2.真空仪 6
F3.控制系统 6
F4.控制柜 6
F6.控制系统的独特优势 8
F7.保护及安全互锁装置 9
G.辅助设备 9
3.设备清单 11
4．所需设施 13
5.验收 14
6.易损备件清单 14
7.所有设备通用规范 15
8.买方应完成的项目 17
9.安装检验和调试服务 17
10.设备 18
1.概述
一般而论，此技术协议书是西科/沃克上市公司（以下简称西科/沃克）将向XX有限公司（以下
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