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感應耦合電漿離子束濺鍍沉積系統的建立.pdf

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    逢 甲 大 學 半導體與光電產業研發碩士班 碩 士 論 文 感應耦合電漿離子束濺鍍沉積系統的建立 以應用於微電子薄膜製作 Establishment of an Inductively-Couple-Plasma Ion Beam Sputter-Deposition System for the Fa

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