第七讲-黑白 半导体材料.pdfVIP

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硅中的杂质 为了获得具有确定电学性质的硅单晶,通 常将一定数量的某种杂质掺入晶体,并控 制他们的分布。这是有意的掺入的杂质, 他们是我们制备各种器件控制电学性能所 必须的。 但还有一些杂质是在生长过程中无意引入 的杂质,他们对我们制造的器件往往有破 坏作用。比如氧、碳、氮等轻元素和铜、 铁等金属。 1

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