无尘室教育训练教材(第六节课).pptVIP

* 无尘室新人教育训练教材 部 门： 制造部 编 写 人： 徐竟成 日 期： 2007/06/04 无尘室的概念 无尘室的概念在于控制产品所接触 之大气的洁净度及温湿度，使产品 能在一个可控制且良好环境空间中 生产制造，此空间称之为无尘室． 无尘室的定义:可将一定空间范围内空气中之微尘粒子﹑有害空气﹑细菌等污染物排出，并将室内之温湿度﹑ 洁净度﹑室内压力﹑气流速度与气流分布﹑噪音振动及照明﹑静电控制到在某一范围内而所给特别设计之房间，不论外在之空气条件如何变化． 无尘室的定义 无尘室的目的 制造高精密度化、细小型化产品质量，可 靠性及高良率的重要设施。使用范围包括 半导体工业、生物化学、医学、光学、食 品等工业 微粒子对曝光后制程的影响 正常底片 曝光后状况 受微尘粒子影响的底片 曝光后状况 同样: 1.如果在板面上有异物,也有可能造成类似的问题. 2.如果在曝光机的框架玻璃上有过多的粒子或异物也有可能造成品质问题. 另外:对于压膜制程来讲,空气中的微尘粒子过多,板面会很容易氧化,而且在压膜时会影响到干膜与板面的附着力. 洁净室标准规范 ≦700 ≧5.0 ≦100000 ≧0.5 100000 ≦65 ≧5.0 ≦10000 ≧0.5 10000 ≦10 ≧5.0 乱流方式≧20次／小时 ≦1000 ≧0.5 1000 ≦1 ≧5.0 ≦100 ≧0.5 100 0 ≧5.0 ≦10 ≧0.5 10 0 ≧5.0 1080 ~ 1620 层流方式0.35m/s ~ 0.55m/s ±10 (特 殊 需 求 ±5) 30 45 ±2.8 (特 殊 需 求 ±1.4) 22.2 19.4 ~ 25 1.3 ≦1 ≧0.5 1 误差% 最小min% 最大Max% 误差值℃ 推荐值℃ 值域℃ mmAg 粒子数目(Particles/ft2) 粒子大小(um) 照度(lux) 风速与换气率 (次/hr) 相对湿度 温度 压力 微尘粒子 洁净室级数(Class) 美国联邦标准209D洁净室规格 无尘室内装材料必要条件 特别是地板，磨擦之机会较多，会发尘之材料应避免 耐磨损性 8 对于微生物而言，水份为其生存之最低条件，因此耐湿性为基本条 件，并且洗净之场合应避免水份泼溅喷着于内装材上 耐湿性 7 在建筑法就强调应具备难燃性材质，此为最普通之常识 难燃性 6 在洁净室里常会使用强酸性或碱性之药水，内装材受污染就会产生针 孔或裂缝等不良之情况，因此应选用耐药品性之材质 耐药品性 5 一般建材对于磨耗之冲击﹑振动能引起较多发尘者，应避免采用 无发尘性 4 内装表面有霉菌附着而会繁殖之材质也会对洁净室造成不良效果，因 此应具有防霉特性之材质较佳 防霉性 3 有带电性容易增大尘埃附着量，因此须具可防止电性产生之材料才行 不带电性 2 必需构造为不使空气漏泄产生之必要性 气密性 1 说明 条件 项目 无尘室内装材料必要条件 要选择适当价格之内装材料 经济性 16 使用之材料必须要有相当之使用寿命才行，否则将使维护费大增 耐久性 15 在作业上使用感不良之材料，非但作业不佳，且不易达到所需求之目 标 易作业性 14 断热性越大，效率越佳，因此应用热传导阻抗之大材质 热传导性 13 要有避震特性 耐震性 12 机器﹑设备及材料之搬入﹑搬出使用台车运载是必须之条件，因此须 要耐荷重性越强越佳 耐荷重性 11 噪音越小越佳，故应选择吸音性良好者为佳 吸音性 10 要有不容易积尘埃，容易清扫之构造与材质为佳，其表面应为平滑， 不会有凹凸不平者，且弯角之处为圆曲状非锐角状 易清扫性 9 说明 条件 项目 无尘室的附属设施 1.脚踏黏垫 2.空气洗尘器 3.传递箱 4.清洁用具 5.压力平衡器 6.洁净衣物 7.监视设施 8.其它 无尘室部分附属设施图示 高效能过滤网 脚踏粘垫 压力平衡器(內) 压力平衡器(外) 传递箱 无尘衣 无尘室清洁管理四大原则 防止微尘带入 防止微尘产生 防止微尘堆集 迅速排除微尘 针对以上原则,下面介绍一些防范及管理措施 无尘室的压力控制 无尘室内可能出现的两种压力现象. 无尘室 无尘室 内压外压 内压外压 无尘室压力控制 第一种情况: 内压外压,属于正常状况,即通常所说的正压,此种状况可以较 大的避免或减少外界的尘颗粒进入无尘室;同时,外界不稳定的 空气环境会比较小的影响到无尘室内,从而使无尘室内能够比 较容易的维持一定的温湿度. 第二种情况: 正壓指示錶 内压