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MB DS264/4线锯操作规程 天合光能硅片工程部 概述 多线切割原理:将不同直径的高强度镀铜钢线缠绕在主轴上，钢线携带砂浆以一定速度和晶棒摩擦，这就是所谓多线切割。 DS264是一种能够快速精确地加工尺寸达到毫米工件，且加工损耗极小的线切割机。特别适合于要求在一个作业循环内将硬脆材料切割成大量薄片的切割加工，在全自动切割过程中保证了刀缝损失最小、切割精度高且表面质量好，通过大批量的生产，可以将加工成本降至最低。 DS264线切割机应用了如下的高精度、高效率和电脑控制技术。 1） 电脑控制切割钢线的进线和回线，以及切割钢线往复行走方式，实现高线速进给，最高达15米/秒。 2） 采用工件下降（下切）方式，实现了高精度的进给，提高了切片精度和切片效率。 3） 采用了工件上升方式，工件切片后的自动抽线非常顺利圆滑。 4） 具有切割钢线异常检测（接地检测）和断线检测功能。 5） 砂浆温度自动控制和流量检测功能，管理、监视、控制砂浆的温度、流量和密度。 6） 切割钢线张力采用伺服控制，在进线和回线两边分别设有张力检测器，如遇钢线断线时，在数秒内自动停车。 线切割机的精度对切片的质量有直接的影响，为了能生产高质量的硅片，线切割机上所有的机械定位和电气参数必须调整在生产厂家规定的精度范围之内，有些参数不要乱修改，否则会造成危险的后果。 操作者同样对硅片的质量有很大的影响，当操作者对该工艺具有了完全的理解和充分的注意之后，就能达到我们所期望的质量要求。 第一篇 工艺工程 第一章 工艺流程图 1.1 关键工艺参数 1.1.1 控制砂浆 1） 切割线网砂浆流量 ：目前最大6800 l/h 允差 ：500 l/h 2） 切割线网砂浆温度 ：22 ℃ 3） 砂浆密度 ：1.6-1.64 kg/l 4） 切割砂浆配比 ：SIC：PEG=1：1.125 （质量比） SIC：PEG=1：1（体积比） 1.1.2 切割钢线线速度：Max.15 m/s 1.1.3 切割钢线张力 ：22-25 N （120um线） 25-27 N(140um线)根据工艺由技术员更改。 1.1.4 晶棒进给速度 ： Max. 1 mm/min 1.1.5 控制钢线 正常切割时单向走线（正常切割时，速度值为负），热机时选用双向走线模式 1） 进钢线长度 ：按自动切割设定 2） 回钢线长度 ：按自动切割设定 1.1.6 收/放线轮张紧扭距 ：40 Nm 1.2 品质 1.2.1 厚度 ：控制在产品规格要求之内 1.2.2 翘曲 ：控制在产品规格要求之内 1.2.3 线痕 ：不得有严重线痕 1.2.4 崩边 ：控制在产品规格要求之内 1.3 流程图 从粘棒室把晶棒领过来，在晶棒上标示出M1、M2、F1、F2（见图） 领棒时需要核对随工单、晶体编号、长度、有无崩边，未倒角裂纹、是否和随工单一样。 把晶棒表面胶刮干净、用酒精把表面擦干净，晶拖的两侧胶刮干净，燕尾槽内摸点润滑油脂 把晶棒装到夹具上，把晶棒下表面再次擦拭干净，用装卸棒起升车装到线切割机上。 夹紧晶棒，设置零点，并把晶棒调整到线网以上2mm位置 打开砂浆，看砂浆是否连续，慢速走线，看砂帘是否成丝绸装 关门开始双向热机约10分钟—30分钟 停止热机，检查是否有跳线，有跳线处理跳线在次热机直到没有跳线为止。 无跳线检查F11-F16里的各项参数 正常，进入自动切割模式 输入切割文件名 开始切割后，再次检查各项设置，填写随工单，并每各半小时检查是否有跳线（在前端，用手电筒照明），收放线轮排线是否均匀。 切割结束后，卸棒，要求每次卸单个晶托 如果有掉片，将掉片 拣出放到周转箱中 吹线网，走新线、看是否换线轮，然后打入砂浆。 准备下次切割 第二章 进出物料规格 2.1 原材料输入： 经直拉法制备的硅单晶棒，规格如下： 单晶方棒直径：125mm*125mm 单晶方棒直径：156mm*156mm 多晶方棒规格：156mm*156mm 晶棒形式：经过倒角磨平面、滚圆或腐蚀过的晶棒，没有内部裂纹 晶棒类型：P型 2.2 成品： 合格硅片规格如下： 厚度：根据客户合同的规定要求而定 晶向：由公司内部标准而定 弯曲：根据客户合同的规定要求而定 翘曲：根据客户合同的规定要求而定 线痕：不得有严重线痕 第三章 辅料准备 名称 规格 绿色碳化硅（SIC） GC1200#、GC1500# 悬浮液（PEG） PEG 切割钢线 直径120um、140um 偏转滑轮 D16型、D17型 扭距扳手 六方扳手 工件钢板 工件夹具 （单根/双根） 紧固螺钉 M8*35 润滑剂 Isoflex Topas NACA52(KLÜBER公司) Turmopast MA2 (LUBCON公司) 第四章 操作说明 4