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2018-05-18 发布于上海
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al2o3alucone交叠结构的封装薄膜word格式论文

摘要本文主要采用原子层沉积（ALD）/分子层沉积（MLD）技术制备无机（Al2O3）/ 有机（alucone）交叠结构的封装薄膜，对顶发射有机电致发光器件（TEOLED）进行封装。由于封装TEOLED器件的特殊性，要求封装薄膜在保证封装性能的同时，具有较高的光学透过率，能够提高器件的光取出量。研究了ALD生长条件对无机薄膜的影响，通过改变生长温度及反应前驱体，提高无机薄膜性能。实验所制备Al2O3/alucone 复合结构的封装薄膜，通过精确控制每层薄膜的生长厚度调节Al2O3、alucone所占比例。Al2O3：alucone比例为7:1的薄膜水汽透过率（WVTR）达到8.68×10-5g/（m2·day），光学透过率有3%的提升。在不影响有机器件性能的前提下，大大延长了器件的使用寿命，提高了TEOLED器件的光取出。关键词：顶发射OLED水汽透过率原子层沉积/分子层沉积无机/有机交叠结构ABSTRACTInthispaper,weusedatomiclayerdeposition(ALD)/molecularlayerdeposition(MLD) topreparethinfilmencapsulation(TFE)withinorganic(Al2O3)/organic(alucone).TheTFE wasusedforencapsulatingtop-emittingorganiclightemittingdevices(TEOLED).Dueto thespecialnatureofTEOLED,theTFEshouldensurebarrierperformance,andhavehigh opticaltransmittance.Weresearchedthegrowthconditionsofinorganicthinfilms,andthe barrier performance was improved by temperature and precursor. The WVTR ofAl2O3/aluconehybrid multilayershavereached8.68×10-5g（/m2·day）,and theTEFnot onlymaintained their high moisture barrier strength but also showed excellent optical performance ofTEOLED.Key words:TEOLEDWVTRALD/MLDinorganic/organichybrid multi layers目录摘要..................................................................................................................................IABSTRACT.................................................................................................................................II目录...............................................................................................................................III第一章绪论..........................................................................................................................11.1本课题研究的目的与意义...............................................................................................14.6本章小结.........................................................................................................................28第五章总结......................................................................................