PE车间不合格品分类.docVIP

PE车间不合格品情况 不合格品类型 可能原因 改进措施 A 发黄片 石墨舟使用次数过多，导电性能受到影响，导致出现发黄、发红的色差片（由于石墨舟片上也会镀上SixNy膜，而SixNy膜的导电性没有石墨那么好，厚度过厚的SixNy膜会影响热传导） 对石墨舟的使用次数进行登记记录，达到清洗程度的石墨舟及时清洗 B 色差 插片不到位，硅片没有完全固定在三个工艺卡点之间，导致镀膜厚度不均匀 加强培训，插片时要使硅片固定在三个工艺点之间 插完片后进行检查 C 色差 舟中有碎片未取出 存在隐裂片，该隐裂片在工艺过程中裂掉 插片过程中谨慎小心，防止造成隐裂片 插完片后检查舟中有无碎片 D 色差 插片过程中，在同一位置重复插片 插片过程中要仔细 插完片后检查中断片 E 吸笔印 吸管处吸力太大 吸笔包膜开裂、清洁度不好 包吸笔膜时开口过大 吸笔包膜不平整、不光滑 吸笔包膜的质量比较差 插片员工的插片手法 调节吸笔的真空度，使其达到最佳 定期更换和清洗吸笔保护膜 包膜开口大小要适当 包膜时要保证其平整度及光滑度 要使用质量好且光滑的包膜 插片人员加强练习 F 黄金片 人为因素导致二次镀膜 舟与电极杆接触不好 设备辉光异常 进行工艺前确认硅片有无镀过膜 舟的位置要准确、到位 跟踪、记录并查找设备原因 G 白斑 局部绒面未长好 及时反馈到制绒，使其采取一定的措施 扩散工序做好硅片扩散面的选择工作 H 镊子印 镊子包膜比较脏 镊子包膜不耐高温，取片人员未等硅片冷却就开始用镊子取片 定期更换镊子包膜，注重保持镊子的洁净度 等硅片冷却到一定程度再进行取片 寻找一种耐高温的取片工具 I 手指印 硅片片源本身存在 前几道工序操作中造成 本工序插片、取片过程中用手直接接触硅片表面 做好硅片质量检验工作 各道工序禁止用手直接接触硅片表面 J 水痕印 二次清洗机的酸、水槽比较脏 甩干不及时 甩干机的水压太小 定期清洗二次清洗机的酸、水槽 及时进行甩干 保持水压稳定