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? 第十四章? 电子探针显微分析 电子探针仪的构造和工作原理 波谱仪与能谱仪的比较 电子探针仪的分析方法及其应用 。 ? 电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 第一节 电子探针仪的结构与工作原理 结构如图所示，可以分为三大部分：镜筒、样品室、和信号检测系统。 镜筒和样品室部分与SEM相同。 信号检
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