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STEPPER曝光機維修保養STEPPER曝光機維修保養步進式 曝光機 設備二級保養檢查表-年使用單位：PSS機號：年度：PAGE：1/1保養檢查項目標準週期1/ 2/3/4/5/6/7/8/9/10/11/12/汞燈更換　I8汞燈料號：C10008PI9、I10汞燈料號：C10012P(OSRAM 2250HR)、C10016P(USHIO 1500HR)不定期　　　　　　　　　　　　Wafer stage X、Y導螺桿上油潤滑X、Y導螺桿無積油月　　　　　　　　　　　　Needle Bearing上油NA月　　　　　　　　　　　　Wafer Loader、Reticle Loader滑軌上油潤滑NA月　　　　　　　　　　　　冷凍機壓力檢查3.5~5.5kgf/cm2月　　　　　　　　　　　　Lamp Power≧200mW/cm2月　　　　　　　　　　　　Lamp Uniformity≦3%月　　　　　　　　　　　　Integrated dose (200ms能量)100±0.5ms月　　　　　　　　　　　　Flatness≦2um月　　　　　　　　　　　　Chip Leveling R-tilt≦3sec月　　　　　　　　　　　　Chip Leveling P-tilt≦3sec月　　　　　　　　　　　　執行者　　　　　　　　　　　　備註　檢查狀態 : V:正常 X:異常 (若有數值請填入表單內) 異常狀態需在備註欄註明處理日期、過程、結果.　　　　　STEPPER曝光機維修保養步進式曝光機設備二級保養檢查表-年保養內容：1.更換汞燈汞燈的壽命為1650小時(SUV-2000NIL)、2500小時(SUV-2001NIL/S、 SUV-2011NIL/S) ，汞燈壽命到必須更換，輸出能量隨著時間而衰減，因此能量必須被監控，以使晶片曝光能量是一個定數。在此由積分器組與光罩遮蔽組之間的積分感應器所監控。積分器系統必須被定期的檢查，以確定系統所調整的曝光時間去補償能量的衰減。需求材料：◎ NSR-2205 I8汞燈料號：M5A2023(使用時數：1650小時)◎ NSR-2205 I9、I10汞燈料號：M3B1004(SUV-2001NIL/S使用時數：2500小時) M5A2022(SUV-2011NIL/S使用時數：2500小時)◎ 4 mm六角板手步驟關閉電源開關及起始開關。汞燈冷卻，最少等待15分鐘。 ─────────── 警 告 ─────────── 汞燈是非常燙的，確定讓汞燈有足夠的冷卻時間STEPPER曝光機維修保養從燈源的底部拔掉門栓及移開排氣彎頭(NIKON I8 ONLY)及打開lamp access door。鬆開汞燈電極固定螺絲。小心轉出汞燈並穿過Collector mirror拆下汞燈，拆下bottom lead。如果有不潔物在新汞燈上時，通知供應商處理。在乾淨的新汞燈上裝回bottom lead及鎖緊retaining screws。穿過Collector mirror往上裝回汞燈及鎖緊support screws。鎖回汞燈電極固定螺絲。裝回及鎖上Exhaust Vent Tube。關閉Lamp Access Door。打開電源開關及按壓起動開關，重置汞燈計時器。─────────── 警 告 ─────────── 幾分鐘後，汞燈電流會穩定在 60 ~ 80 amps。待汞燈電流回複至穩定電流後，再將Camera unit Controller電源打開。STEPPER曝光機維修保養2. Wafer stage X、Y導螺桿上油潤滑1.清潔及潤滑X/Y主軸的導螺桿，每月清潔X/Y軸的導螺桿，去除油脂塗佈。 清潔後，塗上一層新的油脂於X/Y主軸導螺桿的位置。─────────── 警 告 ───────────在清潔及潤滑導螺桿時，會非常地接近極靈敏的光學元件(雷射、光學透射、折射鏡)。不可將手或手臂放在雷射系統或晶片平台上，此動作可能造成系統受到嚴重的傷害。需求材料：馬達手動旋轉把手PL-035油脂棉花棒或無塵布檢視螢幕是否顯示 〝NSR Command Menu〞。STEPPER曝光機維修保養關閉平台控制器的步驟如下：壓HALT按鈕暫停電腦，而HALT紅燈會亮。關閉Stage控制器電源開關及確定所有Stage電路板的指示燈是不亮的。移開主機的左方及後方的門板。在Y軸馬達軸上，裝上馬達手動旋轉把手，並且將螺絲對準馬達軸的平邊並鎖緊固定螺絲，手動移動平台，儘可能地移到整支導螺桿的最遠處。─────────── 警 告 ───────────非常地小心，不要將導螺桿移到它的最大行程，此動作可能危害到導螺桿或是它的螺帽組。手指纏著無塵布或手拿著棉花棒放在螺紋槽內，藉著順時針旋轉馬達旋轉把手去清