三星QCC改善报告.pptVIP

1.1 现状背景 * 1、设备能力对应 2、现场生产对应 22 22 铜厚 0.66 H90 0.68 Cpk H99 1.2% 0.5% 0.2% 不良率（欠损） AOI 全层 0.06 0.1 0.15 CCL（t） 层别 0.8 2.45 线幅Cpk 50/50 60/60 75/75 线幅/线间（μm） 层构成 SAMSUNG FVSS 3-2-3 FVSS 2-4-2 2010年随着FVSS 3-2-3产品仕样及samsung的导入，线幅工程能力不足的问题发生， 我们需要通过调整设备能力达到产品规格要求。 ～～～～～ ～～～～～ ～～～～～ ～～～～～ 1.2 设备改造 22um 12um 铜厚 弱蚀刻液 酸洗 药液洗 0.06t 0.1t 板厚 项目 75/75um以上 现状设备能力 50/50um以上 线幅/线隙 新规产品要求 蚀刻线能力/机能盘点 为IBI 服务了15年，我们精心守护10年的线体，已无法满足现有产品要求！ 旧蚀刻线 改造后真空蚀刻线 新蚀刻线能力 1.93 1.77 Cpk 22 22 铜厚 H99 50/50um以上 小于1 新规产品要求 H90 σ=0.78 OK 面均型 项目 层别 结论 线幅/线隙 设备技术、制造技术、制造、保全等部门通力协作，将两条新蚀刻线安装/调试/量产完成！ 1.3 samsung 50/50线幅总结 18 18 18 18 测量点数 2.72 +/-15 50 E （横向） 1.93 +/-15 50 F （纵向） 1.88 +/-15 50 D（纵向） 2.67 +/-15 50 C（横向） Cpk 幅度 中心值 关键点 6lot SAMSUNG产品数据 H90 H99 C D E F 关键线幅Cpk 1.88以上！ 2.1 不良再定义 75 75 75 50 50 50 不良模式再定义发现： 同样大小的异物， 75/75 OK —〉 50/50 断线NG 重新确认良品条件/新的异物发生源 必要！ 迫在眉睫！ 线隙75um 线宽75um 150um 线隙50um 线宽50um 60um 原产品 新规品 OK NG 露光机 2台 13年；2台8年。 老旧！ 2.2 50/50产品良品条件查找 3-20 李/乔 管道清洗剂清洗 1回/M 有微生物类异物 水洗槽无异物 4-20 李/乔 更换干膜/再生程序修订 贴附不良多发 无贴附不良 贴膜 3-20 郭 定期清扫 积水滚轮/蚀刻1仓滚轮脏污 蚀刻前产品无异物 4-4 王 清扫方法及频度制定 干板周边及干板架异物多发 干板无异物 确认中 乔 发生源确认 产品存有干膜残留 剥膜无残留 3-20 郭 添加防划海绵 设备边角有划伤风险 干膜无划伤 4-4 王/刘 维修并更换 将产品搓坏 去膜后产品不变形 蚀刻 确认中 王/乔 制定更换频度 无更换频度 干板/干板框更换频度 4-4 王 三段清扫标准制定 有异物发生 露光机无异物 粘尘机粘尘效果不佳 粘尘机粘尘效果不佳 1#干燥仓异物多发 基板边缘有铜粉 现状 5-5 李/于 更换备件/设备机能恢复 贴膜前产品无异物 4-20 张 降低温度至80，更换滚轮材料 干燥仓清洁 露光 前处理 工段 5-5 3-20 纳期 李/于 更换备件/设备机能恢复 露光前产品无异物 张 端面研磨机 基板边缘无铜粉 担当 改善对策 100%良品条件 （新增） 2.3 异物新发生源再查找 操作员 班长 班长 组长 责任人 1 清扫频度1回/段替 1 拆开清扫1回/2月 2 更换1回/6月 1 拆开清扫1回/2月 2 表面清扫1回/段替 1 清扫频度2回/天 2 涂抹黄油运行后擦除 3 设立点检表 对策 ★★★★★ ★★★ ★★★ ★★★★ 重要度 30-50um 10-40um 30um 20-30um 异物 大小 1: 空气带入 2: 管道老化 3: 异物积累 1: 摩擦产生 2: 异物积累 1: 空气带入 2: 基板带入 3: 管道异物 4: 异物积累 1: 摩擦产生 2: 异物清扫不便 积累 形成原理 发生源 不良状态 异物状态 伸缩机异物 翻板机异物 气路管道异物 卡扣异物 添加气枪，将异物吹出 隐蔽部位异物清扫困难 2 改善前 定期清扫 走形板卡扣产生大量异物 3 张贴粘尘纸 油漆异物掉落 1 改善后 改善方法 问题点 编号 2.4 现场不具合改善 全员参与为生产50/50线幅查找的不具合项目 原有程序书：以文字描述为主 更改后程序书：图片说明，并将点检部位、点检原因、点检方法、点检频度、管理者检查频度等信息详细说明 3 可持续的管理 标准文件修订 原程序书 新程序书 标准文件修改已经完成46份。