真空用零部件技术指引-OptoSigmaGlobalTop.PDF

Vacuum Base Holder Guide 真空用零部件技术指南 ・ 把激光或光学器件安置在真空腔内使用的实验装置和生产设备的需求越来越多。 虽然大多数光学器件可直接用于真空环境，但很难选到合适的镜架或支架等零部件。勉强使用普通的镜架 等部件的话，存在影响真空度，或污染真空腔的风险。过去遇到真空环境用部件的需求时都是安排的定制 应用系统 生产，但是要求的真空度或使用目的不同，即使是同一外形或功能的产品，其技术要求或制造工艺也会不一 样，很难安排批量生产。 光学元件· 薄膜产品 这里介绍的真空或超净环境用镜架等零部件，从设计到最后包装的整个过程都考虑了各种真空或超净环境 要求，可满足绝大多数真空超净环境的使用要求。 镜架 特别是实现了产品规格系列化，查阅样本便可定型选购，还备有现货库存，方便了用户的不时之需。 真空用零部件的特点 底座 [真空]有不同的真空度要求。不同的真空度要求一般会影响所选产品是否[能用]。这里介绍的产品，从材料选用，产品设计，到 手动平台 清洗方法，包装方案都考虑了各种不同的使用要求，开封后可直接用于超高真空环境。 影响真空度的主要因素及比较 驱动装置 使用环境 超净间 低簡中真空 高真空 超高真空 5 -1 -5 -9 真空度 10 Pa 10 Pa 10 Pa 10 Pa 排气装置 风扇 回转泵 扩散泵 涡轮泵，离子泵等 自动平台 主要问题 洁净度 残留气体 挥发性物质 表面吸附气体 普通产品（铝合金材料） ○ 要清洗 △ 易有残留气体　 × 表面氧化孔内气体 × 加热污染　　　　 光源 不锈钢产品 ○ 要清洗 △ 易有残留气体　 △ 需更化润滑脂　　 × 加热污染　　　　 真空用零部件 ◎ 已清洗 ◎ 备有通气孔或槽 ◎ 真空油脂　　　　 ◎ 已做加热清洁处理 目录 材料 在超高真空环境下，材料本身放出的气体成分就会成为问题，所以，选用材料时，需要认真考虑材料本身的出气量和气体成分。 　 ◦不锈钢（SUS316L）……即使加热烘烤，仍能保持良好的耐腐蚀性，出气量也较少。質 介绍 　 铝合金（A6061） ◦ ……