HRSMF039拉晶作业指导书A2版-.docVIP

NO. 1 2 2  工序名称 进车间前准备 适用范围 目的 作业顺序 穿戴工作服装 作业环境的温度 要求 注意事项  拉晶作业标准 持有车间 硅棒部 进入车间前准备工作 保证作业环境 作业内容 1、换好工作服、防尘鞋、防尘帽 2、车间温度保持在保证工作环境的温度 工作服要洁净、穿戴整齐  页数 1/32 工序名称 作业流程图 适用范围 目的 单晶待检  HRS-MF-039拉晶作业指导书(2.11修改) 拉晶作业标准 持有车间 硅棒部 拉晶作业 作业流程指导 大 清 扫  页数 2/32 单晶的取出  拆 炉  清  炉  装 料 加热化料  （抽空检漏） 副室抽空 更换籽晶  （坏）  引 放 转 等 径 坏（提出或回熔） 收 尾 冷 却 第 2 页，共 32 页 第 2 页，共 32 页  停炉 工序名称 真空泵的清理及泵油的更换 适用范围 目的 NO. 作业顺序  拉晶作业标准 持有车间 硅棒部 作业流程图 标准作业 作业内容  页数 3/32 1 放 油 1、换油员工准备好专用工具及棉丝置于就近位置。 2、拉晶员工关闭主泵球阀。并在炉台上悬挂“禁止启动真空泵”标识牌。 3、换油员工将废油桶置于真空泵放油口下方打开上腔放油开关，取下泵尾气管。 4、换油员工堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快速放油，废油倒入 指定油池。 5、换油员工放完油后关闭上下腔放油阀，而后关闭真空泵断开真空泵对应的空气开关 。 2 3  清 泵 注 油 6、泵油每5炉更换一次。 注意事项及原由 1、确认关闭真空泵是否关闭到位。否则会造成炉内返气。 2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大尾气口关闭不严使油烟 外泄扩散到泵房。 3、切记关闭上下腔的放油阀，防止漏油。 4、处理废油时注意泵房卫生。 5、一定要断开真空泵控制开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害。 6、杜绝在除尘罐处充气。 7、每次换油时将上泵腔内的沉积物清理干净。 7、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。 1、换油员工用工具打开真空泵侧盖，置于适当位置。 2、换油员工用棉丝彻底清理真空泵腔、及侧盖的油污（70泵下腔滤油网）。 3、清扫完毕后，安装好滤网而后安装好侧盖。 注意事项及原由 1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油。 2、70泵切记安装滤网。120泵喷油管对准观察窗利于察看真空泵的工作状态。 3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。 4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。 5、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。 1、换油员工打开真空泵注油口。 2、换油员工将加油管放入真空泵注油孔。 3、换油员工开启加油泵开始注油。 4、换油员工观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置。 5、换油员工关闭注油泵，取下注油管，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道 阀门向下腔放油。 6、换油员工装上尾气管，关闭注油口。 7、拉晶员工开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位 观察窗1/3----1/2位置。若低于下限重复以上操作。 注意事项及原由 1、注油管保持清洁。防止异物进入泵腔。 2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油。 3、切记安装好尾气管及注油孔，以防开泵时喷油或油气污染泵房。 4、对洒落在地面的油污用锯沫吸附收集，不准冲洗至下水道内，避免对环境的污染。 5、注意清理真空泵及周围卫生。 6、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。 7、操作人员需要做好相关记录。 工序名称 单晶的取出 适用范围 目的 NO. 作业顺序 拉晶作业标准 持有车间 硅棒部 拆炉时单晶的取出 标准作业 作业内容  页数 4/32 1 作业准备 2 单晶取出 1、准备好帆布手套（或纯棉纱手套）、耐高温手套、擦炉用的棉丝（或纸巾）。 2、准备好钳子、取单晶的小车（晶筐）。 3、用湿棉丝（或纸巾）将炉体从上到下擦拭干净。 注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全且保持洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。 2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭干净，有利于整体环境，防止交叉污染。 3、擦拭炉体时要小心，防止将所有控制接线及开关碰断或碰坏。 1、单晶冷却完毕后，关闭Ar气同时提升单晶至副室，各炉型最大等颈长度见下表，从小副室观察窗确认 单晶升至所需高度，盖住翻板。（若等颈长度超出以下范围，则升到相应高度则不可以再升单晶。） mm 京运通80炉 华盛天龙85炉 京运通90炉