干涉仪成像畸变引起测量误差的校正方法-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ １０ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．１０ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ １０ Ｏｃｔ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１１０２３４９０６ 　 干涉仪成像畸变引起测量误差的校正方法 ， １ １ １２ 刘满林 ，杨 旺 ，许伟才 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：根据光学系统的波像差理论和干涉检测原理，分析了干涉仪系统的成像畸变对测量结果的影响，提出了对干涉仪 系统的成像畸变进行标定和校正的方法。重点讨论了被测面的摆放存在倾斜和离焦两种情况下产生的测量误差，并提 出了误差校正方法。实验中对同一个被测面进行多次测量，结果显示，干涉图样为 个条纹时的面形测量结果为 ３ ３０．９６ ， ， 个条纹时的面形测量结果为 ， 。校正后两次测量的 值差降低 ｎｍＰＶ ６．３２ｎｍＲＭＳ１０ ４１．２５ｎｍＰＶ ８．２２ｎｍＲＭＳ ＰＶ 到 ， 值差为 。实验结果表明：提出的畸变校正方法可以有效地降低测量误差，提高测量结果的复现 １．４２ｎｍ ＲＭＳ ０．４ｎｍ 性，为高精度面形测量提供参考。 关 键 词：干涉检测；成像畸变；测量精度；误差校正 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４４．３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２３４９ 　　 　　 犆犪犾犻犫狉犪狋犻狅狀狅犳犿犲犪狊狌狉犻狀犲狉狉狅狉犮犪狌狊犲犱犫犻狀狋犲狉犳犲狉狅犿犲狋狉犻犮犻犿犪犻狀犱犻狊狋狅狉狋犻狅狀 犵 狔 犵犵 ， １ １ １２ ， ， ＬＩＵＭａｎｌｉｎ ＹＡＮＧＷａｎ