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行政院家科委助研究成果告可式高分子基板上新型透明氧化物薄膜之研究型整合型行期年月日至年月日主持人秀共同主持人人彭仁馥如禹睿行位立清大材料科工程系中民年月日可式高分子基板上新型透明氧化物薄膜之研究行期年月日至年月日主持人秀立清大材料科工程系教授人彭仁馥如禹睿一中文摘要在性有光示器有子元件太池及控面板等的用上可性透明基板的研重要的具良好的水氧阻隔性且低阻率高透光率的新型可性透明塑基板的有待深入研究本我以射平面磁控法在可性的高分子基板上先以反法最佳阻特性的薄膜再氧化透明氧化物薄膜薄膜的最佳反件是以功率
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