三铟in金属靶材×国家研究院.doc

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2018-11-16 发布于天津
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財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室加速CIGS製程平台開發暨因應未來趨勢之CIGS技術開發-CIGS太陽能電池濺鍍靶材招標規範書招標規範書目錄招標規範書目錄 2 一、工作範圍 3 二、各靶材規範 3 三、審查文件 4 四、履約時程 5 五、驗收及保固 5 六、其他 5 一、工作範圍本規範適用、、、、、、之製造、、要求各規範 2.1.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 10(T) mm 2.1.2 純度：99.995% (二) 錫(Sn)金屬靶材 × 1 2.2.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 5(T) mm 2.2.2 純度：99.95%