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第1章微电子器件发展概况第1章微电子器件发展概况
主要内容 二极管 三极管 MOS器件 JFET MESFET HBT 参考书 Fundamentals of Modern VLSI Devices(教材) Yuan Taur and Tak H. Ning ,2002年 半导体物理与器件(补充教材) (Semiconductor Physics and Devices Basic Principles) [美] Donald A. Neamen 著;赵毅强,姚素英,解晓东 等译 电子工业出版社,2005年 必需具备的基础 半导体物理 复习 P-N结 MOS结构 学习方法 在具备半导体物理的基础上,结合工艺原理学习 后续课程 (1)微电子器件平面工艺实验 (2)微电子器件测试与分析 学习这门课的意义 信息产业是发展最快的产业 发达国家经济发展的支柱产业 微电子技术是21世纪的九大关键技术之一 微电子工业是现代一个国家实力的衡量标准 信息技术是我国优先发展的高新技术,特别是微电子和软件 微电子器件是微电子产业的基础 第一章 VLSI 器件发展概况 1.1 VLSI 器件技术的发展 1.2现代VLSI 器件 1.1 VLSI 器件技术的发展 VLSI发展的主要里程碑 光刻特征尺寸及DRAM和微处理器每个芯片器件个数发展趋势 1.2 现代VLSI器件 现代CMOS器件 结构 现代三极管结构 * *
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