PVD磁控溅射镀膜工艺理论及实践培训教程大全（内部资料）.pdf

工艺理论 及 实践 VON ARDENNE Platteite 19/29 Phone (+49-351)26 37-300 ANLAGENTECHNIK D-01324 Dresden Fax (+49-351)26 37-308 GMBH Germany E-mail office@ Internet VON ARDENNE 上海外高桥保税区 Phone +86(21)5046-2782 中国代表处 爱都路390 号31 号楼 Fax +86(21)5046-1678 D 部位 200131 E-mail vaco@ Internet © VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GmbH / VON ARDENNE 中国代表处, 2005 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 公司和冯·阿登纳中国代表处的机密文件。 本文件中含有 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK 公司和冯·阿登纳中国代表处的机密 信息及私有资料。在得到 VON ARDENNE 公司的特别授权之前，不得对本文件的整体或 部分的内容进行复制、分发、使用或披露。 © VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GmbH / VON ARDENNE 中国代表处, 2005 目 录 目 录 目 录3 图 目 录 10 表 目 录 13 第一章 介绍 15 1.1 冯·阿登纳真空技术公司简介15 1.2 教程概述 17 1.2.1 教程的目的 17 1.2.2 教程的目标 18 1.3 推广阳光控制膜和低辐射膜的理由 18 第二章 溅射 19 2.1 溅射的引入19 2.2 分子行为 Molecular Behavior 19