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瞬茂Des線教育 訓練 瞬茂電控櫃 相當於 打手動 三個門罩保護 用來屏蔽門窗 開關 • AQUA系統 • (有專門的資料圖片放於二組學習資料中,另有手冊會讓小萍放於文件 間) • 這裡只說一下清潔保養的注意環節及簡單異常 • 1. 長時間使用後,偵測槽上不可避免的會有結晶產生,我們在保養時應 及時清潔,防止結晶導致偵測器件卡死失靈等症狀 • 2. 清潔時注意自身安全,由於要爬上機台,要注意腳下,清除結晶時要注 意勿傷到偵測器件 • 3. 注意人機上幾個重要參數,人為亂改會引起添加異常 • 4. 添加系統後的球閥及啟動閥異常亦會引起添加異常 • 5. 注意流量計,偵測到的流量異常亦會引起添加異常 • 6. AQUA 自身的偵測器件,銅棒消耗,浮球沾染異物等,造成偵測異常 • 7. 其他…(請熟悉構造,參考資料) 1~5槽DES顯影段 檢視段 7~11槽DES蝕刻段 注意M6與M7預蝕刻間的滾輪 此處易產生結晶,多了 會將機構卡死,動態保 養時要注意,督促現場 清潔 蝕刻槽噴盤上軟管需即時更換 噴盤搖擺馬達 蝕刻槽添加循環泵 P13添加循環泵過來就到這邊 加 添 流量計(與顯影槽得流量SENSOR不同) 13~15槽去膜段 去膜段集膜渣槽 集膜渣槽濾桶 定期更換培 林(4個月) 槽內藥水 由次管道 過來 濾膜渣用滾桶式濾網,動作時由汽缸及近接開關控制左右來回跑,以 保持網帶不跑偏,汽缸及近接任一出現問題都會導致網帶跑偏卡死 破損,另外,兩個滾桶都有培林,需定期更換,網帶鬆緊度保持調節螺絲 外彈簧在4cm 使用時間長了 會出現行程異 常,導致網帶 跑不回去 感溫棒,探頭在里邊,拆裝較為方便 感溫棒使用時間長了後會感應不良,易產生結晶等,保養時可拿出檢查 清潔,感應不良會報過溫保護等 壓力表表頭, 拆開前蓋可手動 歸零 壓力傳感器 機台部分控制電磁閥 添加槽 以下為簡單得一些操作 進入維修模式 可進行手動操 作 在概覽的工具 選項中,可以查 看到各報警代 碼及中文意思 一些設定的參 數 使用者,若進入不了 或權限不夠我們可 以使用瞬茂的帳號 schmid 密 碼:020224試試 • 瞬茂設備的操作大同小異,DES與SEC線內 容可相互參考,開關機等操作請參考龐坤坤 同學的SEC線,另有不足請兄弟們指出, 日後 逐漸完善 • 补記: • 1. PLC復位順序 • 關機關PLC關總電,開機相反 • 2. 清潔電磁閥等,可每三個月叫廠商過來清 潔,用3%的HCL/雙氧水 • 3. 修改參數,進入維修模式