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JQG-2剪切干涉仪（准直度测量仪） Shear plate collimation tester/interferometer 一、概述 基于平板剪切干涉原理，采用一块具有一定厚度并带有微量楔角的高质量光学平板将一个具有空间相干性的波面分裂为两个完全相同的波面，并且使这两个波面彼此相对错位；因为波面上各点是彼此相干的，因此在这两个波面的重叠区将产生干涉（Fig. 1）。 剪切平板楔角方向与剪切方向垂直。如果被检光束完全平行，则干涉条纹平行于剪切方向；如果被检光束会聚或发散，则条纹将发生旋转（Fig. 2）。 Fig.1 Fringes appear in the region where the light reflected Fig.2 Orientation of fringes with respect to the collimation from the front and rear surfaces of the shear plate overlap reference line 用途：通过判断能读干涉条纹的形状可以求出原始波面的波差分布；根据条纹相对于水平基线的旋转角度可以计算出光束准直度。 优点：利用被测波面自身实现干涉，无需参考表面。 二、主要性能 型号 JQG-2型（多功能型） 特点 剪切平板可转动，带最小格值为1(的度盘 剪切板 材料 通光口径 最小可检验光束直径 剪切量 楔角名义值 平行光入射时条纹间距 高质量K9玻璃，n=1.51466 @ (=632.8nm (50mm (15mm 7.466mm 20″ 2.2 mm 条纹旋转灵敏度（对应于条纹旋转10(的光束准直度） 174(rad 光束准直度分辨率（与使用者经验有关） 19.3(rad（对应于条纹旋转1(） 外形尺寸(mm) 195x124x150 三、光束准直度的计算 1、计算公式 观察屏上被检波面的曲率半径 R由如下剪切方程计算， R=s/n ( tg( (1) 光束发散角(（全角）由下式计算, (=D/R=n ( D tg(/s (2) 这里，n和(分别为剪切板的折射率和楔角，D为被检光束在观察屏的直径（其最大值为剪切板通光口径），b为观察屏上相邻两条干涉条纹的间距，(为干涉条纹倾角（即条纹与观察屏基准刻线间的夹角），s为剪切板的剪切量，参见图3。(是已知的，只要测得角(，就可按式（1）和（2）计算光束曲率半径R和发散角(。 Fig.3 Measurable quantities need to determine wavefront radius from the shear equation 2、条纹倾角(的读取 1）JQG-1型（简易型） 使用前先用平行光束校正观察屏基准刻线。在入射光束为平行光时，转动观察屏使干涉条纹与观察屏上的基准刻线平行。在实际测量时根据图3直接读取(值。 2）JQG-2型（多功能型） 无需校正，测量步骤如下：1）当观察屏出现干涉条纹时，转动剪切板使干涉条纹方向与基准刻线平行，记下度盘读数(1。2）再转动剪切板约180(，使干涉条纹方向与基准刻线再次平行，记下度盘读数(2。3）按式（3）计算倾角(，即 (=((1-(2(180(( (3) 如(1180(, 式（3）变为(=((1-(2-180((；如(1180(式（3）变为(=((1-(2+180((。例如， (1=5(36′，(2=178(12′，则 (=5(36′-178(12′+180(=7(24′。 注：可以根据用户要求，设计制造自动光电剪切板准直度测量仪；还可设计制作不同通光口径的剪切板准直度测量仪。 中国科学院上海光学精密机械研究所（上海大恒光学精密机械有限公司） 地 址：上海市嘉定区清河路390号 联系人：黄惠杰、任冰强、赵永凯 通信地址：上海市800-211信箱(201800) 电 话：（02169918824 电子邮件：huanghuijie@siom.ac.cn 传 真：（021JQG-2型剪切干涉仪 3