特此将AEMD平台设备目前状态进行梳-先进电子材料与器件校级平台.PDFVIP

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2018-03-29 发布于天津
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特此将AEMD平台设备目前状态进行梳-先进电子材料与器件校级平台

2016 年元月16 日星期日 2016 年第一期总第二期 AEMD校级平台月报联系电话：021 近期，平台经常收到用户邮件反映平台设备使用状态不明，特此将AEMD 平台设备目前状态进行梳理，以供平台各位用户参考。对于维护中的设备给您的实验带来不便，深感抱歉！我们会尽快恢复设备状态，恢复对外开放服务！ Vistec EBPG-5200 电子束光刻系统对外开放光刻设备 SUSS MA6 双面对准光刻机对外开放 Princision Imprint PI-D01 纳米压印机对外开放 SVS OV-12 HMDS 烘箱对外开放光刻区热处理设备 Suss Delta HP8 热板对外开放 HP-303DU 热板对外开放 SUSS 高性能涂胶机I 对外开放旋涂设备 Laurell 650-8N 高性能涂胶机对外开放 Ocean Optics 可见光膜厚测量仪对外开放 Denton 电子束蒸发镀膜设备对外开放薄膜沉积设备 Denton 多靶磁控溅射镀膜系统对外开放西区薄膜I 区 HARRICK 等离子清洗机（表面改性）对外开放微纳图形加工设备 Zeiss Auriga 场发射电子束/聚焦离子束双束系统对外开放测试设备 KLA-TencorP7 台阶仪(表面轮廓仪