基体介质金属双层薄膜内应力的研究-福州大学学报.PDFVIP

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29 1 () Vol.29 No.1 2001 2 Journal of Fuzhou University(Natural Science) Feb.2001 :1000-2243(2001)01-0020-02 // , (,  350002) :PECVD 40 Cr NiCr , , . :;; :O484.1 :A ., , 、, 、 ., 、, ., , . [1] [2] [3, 4] [5] , 、 、 、 . MIM , .PECVD 40Cr NiCr , , . 1   [6] . 1 , 589.3nm, ., , .;. 2   // , 、、., , , 、 , . /Si N /NiCr . 3 4 1  40Cr PECVD 0.2 ~0.4μm Si3N4 , NiCr , 1.2μm, ., 40Cr Si N /NiCr Si N NiCr 3 4 3 4 , .2 Si N NiCr 3 4 .2 , NiCr , Si3N4 6.8GPa;0.2 μm NiCr , 5.8GPa; 0.5 μm , , 5.2GPa;0.8 μm , 4.8GPa , . 、.Si N /NiCr 3 4 :2000-01-24 :(1968-), , . :(E9810004) 1 :// ·21 · , Si N , 3 4 Si N , NiCr 3 4 ., NiCr , Si N / 3 4 NiCr .Si N , 3 4 , , NiCr/Si N , , 3 4 Si N 3 4   2 Si N NiCr NiCr ., NiCr 3 4 , Si3N4 , .NiCr , NiCr , Si3N4 NiCr , , .、 . [7] .K , , , i σσ i 1 i σ, i , σj

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