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[工程科技]北京大学微电子研究院简介-ppt
北京大学微电子研究院
简 介
1
北京大学
中国微电子的起源地和摇篮之一
50年代，黄昆院士 70年代，王阳元院士
中国第一个半导体 中国第一块硅栅N沟道
专门化 1K MOS DRAM
自80年代以来，很大的发展
2001年国家重点学科评审：100分
2
北京大学微电子所概况
北京大学微电子学研究院
前身是1956年黄昆院士领导下的我国第
一个半导体专门化
1978年成立微电子学研究室
1986年成立微电子所
2002年成立微电子系/微电子学研究院
3
学位授予权情况
学士学位：微电子学
硕士学位：微电子学与固体电子学，电
路与系统
工程硕士学位：集成电路工程
博士学位：微电子学与固体电子学，电
路与系统
博士后流动站：微电子学与固体电子学
4
北京大学微电子所概况
教师
中国科学院院士：1人(王阳元院士)
博士生导师：12人
教授：15人
拥有博士学位人员：36人
学生
博士研究生：20 人/年
硕士研究生：45 人/年
工程硕士：30人/年
本科生：65人/年
5
北大微电子所的研究基地建设
微米纳米加工技术国家级重点实验室
微电子新工艺新器件新结构电路国家
计委专项实验室
北京市软硬件协同设计高科技重点实
验室
6
ICP刻蚀机
ICP刻蚀机
LPCVD 系统
LPCVD 系统
7
/
双面光刻键合系统
/
新工艺新器件结构电路国家专项实验室
新工艺新器件结构电路国家专项实验室
8
9
超深亚微米/纳米新
器件及集成技术
1
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