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集成电路版图设计基础 basics of IC layout design instructor: Zhang Qihui e-mail:qhzhang07@ 河 南 大 学 H e n a n U n i v e r s i t y school of phye basics of ic layout design * 第十三章 数据格式 data formats 工业标准的基本数据格式 生成图形 school of phye basics of ic layout design * 工业标准的基本数据格式 需要将版图的基本数据转换成掩模制造商能够读懂的格式。 两种流行的数据格式： 1. CIF: Cal-Tech intermediate format 2. GDSII: GDSII Stream Format GDSII于70末80初，Calma公司发明，现为Cadence 拥有，是表达掩模信息的工业标准的基本数据格式。 school of phye basics of ic layout design * 工业标准的基本数据格式 开头部分信息： GDSII开头部分，保存着有关文件的数据信息。如使用的计量单位是厘米、英寸、米还是英里。 使所有的人都统一到同样的计量单位，称之为“用户单位”。在掩模设计中用户单位一般用微米来表示。 school of phye basics of ic layout design * 工业标准的基本数据格式 统一分辨率： 数据流文件包含的下一个非常重要的信息是每用户单位所允许的基本数据单位数。有效地设定了基本数据的分辨率。 如用户单位是微米，而基本数据单位是1000，那么就允许每微米分成1000分，基本数据的最小尺寸就是千分之一微米。 刻实际掩模的电子枪有一个尺寸固定不变的步长，称之为“点距（spot size）”。 school of phye basics of ic layout design * 工业标准的基本数据格式 统一分辨率： 如果没有正确设置工具的分辨率会出现问题。 如，你以千分之一微米作为计数单位，而实际制造只允许以0.2um的网格来计数，则有些线会没有落在制造网格上，无法用电子束刻出。 掩模制造机必须把处在网格线外的线重新定位到最靠近的制造网格线上。 迫使网格外的多边形落到一个较粗的网格上会引起所谓的“图形拉断”问题。这种情况可能会产生一个开路电路，或造成金属层变薄。 （P236 图11-3/4） school of phye basics of ic layout design * 生成图形 掩模制造商可能会需要一个不是GDSII的特定数据格式，所以必须把它转换成他们能够使用的格式。 通常把GDSII文件转换为PG格式，图形生成格式。 图形生成是把向量数据，即含有向量坐标信息的数据转换为光栅数据格式，即含有形成多边形信息的水平线条数据。 每一线条宽度就是把你的信息变为光栅电子束宽度。 电子束的宽度决定了线条的宽度，也就决定了你在GDS文件中所需要的计数精度，这又决定了你所用工具在画图时能达到的网格分辨率。 （P238 图11-5/6） school of phye basics of ic layout design * THE END OF CHAPTER THIRTEEN THANK YOU !! * *