光驰机镀膜基本操作.ppt

单击此处编辑母版标题样式 镀膜基础知识培训教程一光驰机镀膜基本操作 课程大纲 1.抽真空 2.熔料 3.手动启动离子源 4.开始镀膜 5.消除报警 6.镀完膜后放气 抽真空 1、先要对真空室进行彻底清洁，然后装入镀膜镜片，关好真空室门。 2、在触摸屏控制面板上，MAIN菜单里的EVAPORATION CONTROL界面选择CHAMBER EXHAUST，如下图所示。 3、抽气是各阀门的关闭和启动，机器会自动进行。 关门抽真空, 按 弹出英文对话框 选择 NO HEATING CHAMBER EXHAUST MAIN菜单 EVAPORATION CONTROL界面 熔料 预熔SIO2： 1、将SIO2坩埚转速调整为400，然后按RORARION键启动； 2、将SIO2电子枪各参数调整为：SCAN:X=56; Y=15,POSITION:X=30;Y=44。然后记下位置，作为熔料的初始位置，。 3、 SIO2熔完一圈后，先按 ACC/FIL键关闭电子枪，然后按 RORARION键，关闭SIO2坩埚旋转。 注意：CCW为顺时针旋转，CW为逆时针旋转，镀膜时为顺时针旋转。 点此按钮启动SIO2坩埚 点此按钮调整SIO2坩埚转速 此处控制SIO2电子枪参数 必须为此按钮，为顺时针方向 熔料 预熔TIO2： 1、在电脑界面按select键选择熔料膜系SO580 PRE Melting 6，在膜系中选择正确的坩埚位置，保存并关闭。 2、点START键 3、TIO2需熔两遍，然后点击cancel取消熔料膜系，熔料完成。 手动启动离子源 注意：熔料时可以手动启动中和器，注意不可启动离子源。 1.开Ar气：分别将Ar1和Ar2加到20和8 Ar1 Ar2 2.启动中和器:显示屏右下角有一绿灯亮起为中和器启动成功 手动按纽 亮绿灯 中和器启动按纽 ①.打开手动形式 ②.启动中和器 ③.显示屏上的显示 手动启动离子源 离子源启动按纽 正常启动值为500左右 3、启动离子源:右下脚有两绿灯亮器为离子源启动成功。 4、离子源的启动要在中和器启动后120秒才能进行; 5、如果离子源启动失败,可以通过加大Ar1进行重新启动。 ①.启动离子源 ②.显示屏上的显示 开始镀膜 1、选择膜系：在DELL电脑界面上，根据镜片分光要求，按select选择膜系； 2、按start键后,会弹出对话框,按continue键，继续弹出对话框,再按continue,会提示烧灯丝60s,之后等待镀膜 注意：若镀膜过程中发生报警,则首先消除报警,再查找报警原因。 消除报警方法 MAIN MENU 6 ALARN INDICATION BUZZER COMPEL STOP ALARM RESET 查找报警原因并解决问题 开始镀膜 镀完膜后放气 镀完膜后，进行正常放气。 如果电脑上自动放气 按键不被锁定,只需等待自动放气 放气.按 等待门自动打开 CHAMBER VENT CHAMBER VENT 光驰机镀膜基本操作 谢谢! 单击此处编辑母版标题样式