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Cell 工程简介（B1) -杨明 2009年10月 目的：简单了解CELL工程的运转方式，在工作中能够更好的理解客户和客户需求，理解工程目的。  CELL 工程可分为三大部分 一 Cell PI Fresh man 二 Assembly 三 Cell Cut  TFT-LCD 基本构造 3/120  一 Cell PI Fresh man PI Process Introduction About PI Cleaner About Coater About Precure About PI Inspection Mac/Mic About Maincure/PI thickness Ins. About US Cleaner About Turn Unit About Rubbing Unit About Steam Inspection About Winding Unit/RB Cloth Ins. PI E.Q Rubbing E.Q I. PI Process Introduction ★ PI Part Process (OT PH1) I. PI Process Introduction ★ Rubbing Part Process (OT PH1) Ⅱ. About PI Cleaner 1.Detergent Brush 利用高速旋转的滚刷配合特定的化学清洗剂清除glass 上大于 3µm 的particles。 Use time : three years Change condition: 1. the brush was physical hurt. 2. the nylon fiber brake or fall. Ⅱ. About PI Cleaner 2. Hyper-Mix 是利用加了高压的DI water与空气混合后所产生的大量bubble来去除 particle的一种清洗设备。 Ⅱ. About PI Cleaner 3. Cavitation Jet 在水中冲入高压空气，产生气泡。气泡在基板表面破裂时，可除去基板表面的Particle。 Ⅱ. About PI Cleaner 4.Air Knife 用slit型的Nozzle喷出高压空气以形成一段空气刀， 对流过的玻璃基板进行干燥。 Ⅱ. About PI Cleaner 6.Excimer UV 是指在一个封闭的chamber内用UV lamp照射，生成 O3以去除玻璃基板上的有机物的一种清洗方式。 Lamp position: EUV lamp 5 EA Change condition : intensity 24mW/cm2 玻璃的透光率是:60%～70% Ⅱ. About PI Cleaner EUV Lamp EUV unit PM :every two week check. Use IPA clean the roller and glass if necessary. Ⅱ. About PI Cleaner ★ EUV原理 Ⅲ. About Coater Coater设备是在 TFT and C/F 基板上形成取向层，达到液晶分子取向的作用。 版胴：用于安装APR Plate Anilox Roll：均胶辊,用于将PI液涂到APR板上,上有小坑成网状排布, 倾斜角度45˚目的是使PI液涂布均匀。 Doctor Roll/Blade：目的是使Anilox Roll上的PI液均匀。 Asahikasei Photosensitive Resin Ⅲ. About Coater ★ Coater的两种结构 Ⅲ. About Coater ★ Coater M/C 基准水平调整 千分表 粗测机台水平的工具 Ⅲ. About Coater Basic pin Push pin ★ Table结构图 Ⅵ. About Maincure Maincure的加热方式：IR (Infrared Ray) Heater 方式 由Air Pre-Heater向Chamber内部逐步通入 N2 Gas预热方式 多段加热炉内一直保持负压状态 它的目的及优点是 ①能制造出层流的Gas Flow ②提高seal的性能 ③能强制排除shutter打开时进入的