残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响.pdf

第 卷 第 期 物 理 实 验 ．３５ Ｎｏ．４ ３５ ４ Ｖｏｌ 　 　 　 　 　 　　　 　　　 　　　 　　 　　 年 月 ＰＨＹ ， ＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ 　 　 Ａ ｒ． ０１ １５ ４ ５ ２０ ２ 　 　 　 　 ｐ 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 残余气体质谱仪的进样输运 及其对定量分析的影响 ， ， 吴 聪 刘晓洋 张家良 　 （ ， ） 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 辽宁大连 ０２４ １１６ ： ， 、 ／ ， 摘 要 使用 残余气体质谱分析仪 分别以空气 空气 氩气混合气体为样品 研究了质谱仪的进样输运效 ＱＭＳ２００ 　　 　 － ／ ， ， 应 利用空气 氩气混合气体作为标准样品 进行了质谱峰强对浓度的标定 获得了分析仪对残余空气定量分析的标定 ． ： ， 、 ， 关系 研究发现 由于输运过程 注入样品由于不同成分的输运速率 排空速率不同 样品不同成分在质谱仪内的量与其 ． 原始物质的量有所不同． ： ； ； 关键词 残余气体分析仪 输运效应 质谱峰强 中图分类号： 文献标识码：