电子探针显微分析教材教学课件.pptVIP

第五章 电子探针显微分析; 电子探针的功能主要是进行微区成分分析。它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 ; 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是x射线谱仪，专门用来检测x射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。 因此．除专门的电子探针仪外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜简上，以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。 ;第一节：电子探针仪的结构与工作原理 电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜并无本质上的差别，因此要使一台仪器兼有形貌分析和成分分析两个方面的功能，往往把扫描电子显微镜和电子探针组合在一起。 电子探针的信号检测系统是x射线谱仪，用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪(WDS)或波谱仪。 用来测定x射线特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪(EDS)或能谱仪;一、波长分散谱仪（波谱仪，WDS） 1.工作原理 在电子探针中x射线是由样品表面以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积内激发出来的，如果这个体积中含有多种元素，则可以激发出各个相应元素的特征波长x射线。 特征x射线的波长(或频率)，并不随入射电子的能量(加速电压)不同而不同，而是由构成物质的元素种类(原子序数)所决定的。 ; 在各种特征x射线中，K系列是主要的，虽然K系列的x射线有好多条，但其强度最高的只有三条 ; 若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体，入射x射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时，这个特征波长的x射线就会发生强烈衍射。 对一个特征波长的X射线来说只有从某些特定的入射方向进入晶体时，才能得到较强的衍射束。 若面向衍射束安置一个接收器．便可记录下不同波长的x射线。它可以使样品作用体积内不同波长的x射线分散并展示出来。; 在波谱仪中，x射线信号来自样品表层的一个极小的体积，可将其看作点光源，由此点光源发射的x射线是发散的，放能够到达分光晶体表???的，只是其中极小的一部分，信号很微弱 增强信号采取措施： -----聚焦圆 （1）晶面弯曲 把分光晶体的衍射晶面弯成曲率半径等于2R(R为罗兰圆半径)的曲面--晶体内表面任意点A、B、C上接收到的X射线相对于点光源来说,入射角都相等 （2）表面磨制: 并将晶体表面磨成曲率半径等于R的曲面--这样的布置可以便A、B、C三点的衍射束正好聚焦在D点 ; X射线源，分光晶体和探测器处在同一圆上，此圆称为罗兰圆;3.波谱仪的形式 回转式谱仪：罗兰圆的中心固定不变，晶体和探测器在圆周 上以1：2的角速度运动来满足布拉格方程 直进式全聚焦谱仪：晶体从光源S向外沿着一直线移动并通 过自转来改变?角。罗兰圆的中心O在以 S为中心，R为半径的圆周上运动。 当晶体位于?角时，晶体与光源之间的距离l总是等于2Rsin ? ，将代布拉格方程(2dsin ?=n?)得;4. 波谱仪的特点 波长分辨率是很高的 x射线利用率很低 波谱仪不适于束流低、x射线弱的情况下使用; 二：能谱分散仪（能谱仪，EDS ） 能量色散谱仪简称能谱仪，是利用特征X射线能量不同来展谱而进行成分分析的仪器。 1.工作原理 x射线光子由锂漂移硅Si(Li)检测器收集，当光子进入检测器后，在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子—空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量?是一定的，因此由一个x射线光子造成的电子—空穴对的数目N ;能谱仪图片;Si（Li）晶体厚3~5mm，直径3~10mm，它是一个P-N结型二极管。它的前方有一个7~8μm的铍窗，整个探头装在与存有液氮的杜瓦瓶相连的冷阱内。; 入射x射线光子的能量越高， N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子—空穴对．经前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。 电流脉冲经主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器。脉冲高度分析器技高度把脉冲分类并进行计数，这样就可以描出一张特征x射线技能量大小分布的图谱。; 多道脉冲分析器