纳米光刻技术的现状和未来-物理杂志.PDFVIP

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2018-06-06 发布于天津
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纳米光刻技术的现状和未来-物理杂志

!!!!! 评述 ! !!!! 纳米光刻技术的现状和未来# 陈献忠姚汉民= 陈旭南李展罗先刚（中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都 610209 ）摘要纳米技术是世纪信息科学的一项关键技术，纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分纳米光刻技 21 . 术是制作纳米结构的基础，具有重要的应用前景. 文章对光学光刻技术进行了概述，介绍了几种纳米光刻技术的新途径、发展现状和关键问题，最后讨论了纳米光刻技术的应用前景. 关键词纳米技术，纳米光刻，纳米结构制作，应用前景 THE PRESENT AND FUTURE OF NANOLITHOGRAPHY CHEN Xian-Zhong YAO Han-Min= CHEN Xu-Nan LI Zhan LUO Xian-Gang （，，，，） State Key Laboratory of Optical Technologies f or Microf abrication Institute of Optics and Electronics Chinese Academy of Sciences Chengdu 610209 China Abstract Nanotechnology will play a key role in information science in the 21st century . The fabrication of ，， nanostructures an important part of nanotechnology is based upon nanolithography which will be widely employed in ， the future . We shall first briefly review optical lithography then describe the development and key issues of several new methods of nanolithography . Prospective applications of nanolithography are discussed at the end . ，，， Key words nanotechnolgy nanolithography nanostructure applied perspective 亚纳米级精度的测量和控制技术，因此纳米技术至 1 引言少是包括材料、加工、测量和控制技术的统一体. 1986 年获得诺贝尔物理学奖的扫描隧道显微镜 “一尺之棰，日取其半，永世不竭”这是我国古代（，）的发明，实现了 scanning tunneling microscope STM 流传下来的朴素的物质可以无穷分割的思想. 科学人类亲眼看到微观原子世界真面目的愿