石英半球型微谐振器的仿真与加工-压电与声光.PDFVIP

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2018-06-06 发布于天津
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石英半球型微谐振器的仿真与加工-压电与声光.PDF

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石英半球型微谐振器的仿真与加工-压电与声光

第卷第期压电与声光３９４Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．４　　　　年月２０１７８ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳＡｕ．２０１７ｇ文章编号：（）１００４２４７４２０１７０４０５５３０４　　石英半球型微谐振器的仿真与加工邢亚亮，张卫平，唐健，孙殿竣，刘朝阳，欧彬　　（上海交通大学微纳电子学系微米／纳米加工技术重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海２００２４０）摘要：该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真，分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态，讨论了谐振　　　器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器，跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为０．５８１ｎｍ，保留了原子级别的光滑度。关键词：石英半球型微谐振器；半球谐振陀螺；模态分析；湿法腐蚀中图分类号：；文献标识码：ＴＮ２５２Ｖ２４１．５Ａ　　　犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀犪狀犱犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犕犻犮狉狅犛犻犾犻犮犪犎犲犿犻狊犺犲狉犻犮犪犾犚犲狊狅狀犪狋狅狉狆，，，，，犡犐犖犌犢犪犾犻犪狀犣犎犃犖犌犠犲犻犻狀犜犃犖犌犑犻犪狀犛犝犖犇犻犪狀狌狀犔犐犝犣犺犪狅犪狀犗犝犅犻狀犵狆犵犼狔犵（／，ＮａｔｉｏｎａｌＫｅＬａｂ．ｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｏｎＭｉｃｒｏＮａｎｏＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｆｏｒＴｈｉｎＦｉｌｍａｎｄｙｇｙｙｙ，，ＭｉｃｒｏＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｔｈｅＭｉｎｉｓｔｒｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎＤｅａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｉｃｒｏＮａｎｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｙｐ，，，）ＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎＳｈａｎｈａｉＪｉａｏｔｏｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔＳｈａｎｈａｉ２００２４０Ｃｈｉｎａｇｇｇｇｙｇ：，犃犫狊狋狉犪犮狋Ｉｎｔｈｉｓａｅｒｔｈｅｍｏｄａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｓｉｌｉｃａｈｅｍｉｓｈｅｒｉｃａｌｒｅｓｏｎａｔｏｒｉｓｃ