硅片电镀线切片：断线分析.pptxVIP

电镀线切片——断线分析LOREM IPSUM DOLOR一、金刚线主要参数金刚石颗粒选择电镀钻石线主要参数要求电镀钻石线使用要求附图现象问题存放时间过长或包装问题导致钢线表面生锈无法使用钢线在绕曲过程中易断裂钢线爬坡、法兰盘变形、毛刺、焊点、钢线压线等绕线过程中断线钢线颗粒分布不均匀、堆积严重颗粒不均匀，导致切割硅片厚度分布不均二、切割过程中的断线情况分析及处理断线原因的归纳断线原因断线形式放线断线现网断线收线断线断线原因的归纳钢线强度偏低原因： 钢线在生产过程中热处理工艺出现波动。断口：过载径缩断, 检测未使用的钢线发现强度在标准范围外断线原因的归纳钢线② 钢线夹杂物原因：在钢线生产过程中混入杂质断口：有夹杂颗粒存在断线原因的归纳钢线③ 钢线表面缺陷-裂丝原因：在钢线生产拉拔过程中对钢线表面损伤断口：表面裂纹或分层④钢线表面缺陷-凹坑原因：钢线在搬运过程中磕碰生产钢线表面损伤断口：表面凹陷断线原因的归纳钢线⑤工字轮变形原因：工字轮强度不足以支撑钢丝压力引起变形, 并造成钢线排线松动或夹丝特征：过载颈缩断, 放线侧工字轮靠近法兰边处排线松动, 严重时工字轮明显变形。解决方案：在切割前仔细检查工字轮是否变形, 切割过程中要注意跟踪钢线的跳动是否有异常断线原因的归纳钢线⑥压线原因：钢线厂家排线过程中偏差或运输途中外力造成放线压线断线。特征：过载颈缩断, 通常容易伴随切割线痕, 切割后废线呈卷曲状。解决方案：使用前认真检查放线轮排线情况。断线原因的归纳钢线⑦钢线夹杂物原因：字轮上有凿伤痕迹或有毛刺，放线时钢丝被刮在其上引起断丝（收线侧工字轮若有毛刺则会引起收线侧断丝）特征：位置出现在放线侧（或收线侧）过载颈缩断或斜切式断裂断线原因的归纳设备①导轮系统故障原因：收放线轮导线轮磨损过大或被切透；放线轮和收线轮随动性不佳（控制系统故障）张力检测设备故障（张力臂摆动异常）断口：过载颈缩断或不规则断口。解决方案：消耗性物品应在每刀切割前检查是否需要更换, 定期检查测试收放线轮随动性, 切割前检查压缩空气是否正常, 编织完线网后加上张力, 正反转动几圈, 查看是否有异常, 定期检查各个传感器是否有问题。断线原因的归纳设备② 收线轮排线质量原因：收线端排线质量呈桶形引起收线张力急剧跳动。断口：过载颈缩断或不规则断口。解决方案：调整收线排和线器的工艺参数, 检查排线器是否出现机械故障。断线原因的归纳工艺①机台参数原因：切割工艺中设定的线速与台速不匹配，使钢线在切割过程中线损较大导致强度下降或线弓过大造成钢线过载而断线。断口：过载颈缩断或不规则断口。解决方案：根据机台本身性能及经验调整切割工艺，使线速与台速匹配。断线原因的归纳操作① 粘胶或硅棒对接质量原因：粘胶不当, 四周去胶不干净硅棒对接垂直度。解决方案：将晶棒四周残余的胶水去除干净, 晶棒粘完后检查对接是否平行。②导轮槽或导线槽有异物原因：设备内部及浆料循环系统内混入硬质异物如碎片等, 或者在导线槽导轮槽内有未清理干净的碎硅渣等, 对钢线造成刮伤。断口特征：不规则断口, 但在使用后的钢线表面可观察到刮痕。解决方案：切割前仔细清理设备包括导轮槽、各挡板、线网等。 断线原因的归纳操作③ 跳线原因：原因钢线在线网上因导轮槽磨损、导轮槽中有杂质、硅棒拼接等原因跳线, 导致某些导轮槽内有多根钢线互相压住引起断线。断口特征：表面有刮痕或竹节钢线特征。解决方案：切割前检查导轮是否需要重新开槽并仔细清理导轮槽, 检查导线滑轮是否需要更换断线后处理措施异常分类具体项目位置处理措施断卷线切割中断线放线/收线断线反切提料-重新布线-下压-切割将反切位置后送返线参数调整为正向切割最后一步参数相同进行切割切割中卷线头部卷线接线反切中间或尾部卷线接线甩切匀线网断线任何位置接线跑线下料断线（提料挂线、取喷管碰断等）任何位置三、其他三、其他 谢 谢