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半导体照明发光二极管LED芯片制造技术及相关物理问题!
物理学和高新技术 半导体照明发光二极管(()* )芯片 制造技术及相关物理问题! 李! 刚+ (方大集团股份有限公司! 方大国科光电技术有限公司! 深圳! ’,% ) 摘! 要! ! 以化合物半导体材料为发光元件的半导体固态照明正引发人类照明史上的又一次伟大革命- 目前,局限 半导体照明广泛应用的主要技术瓶颈有:出光效率(或外量子效率),单管最大可发光通量(或最大可工作功率),单位 光通量的成本和发光二极管可正常使用寿命- 文章综述和分析了与芯片发光效率(或外量子效率)和单芯最大可发光 通量(或最大可工作功率)相关的制造技术和相关物理问题- 关键词! ! 发光二极管,半导体照片,芯片,氮化镓 !#$%’()* +%, -’+., /$0*)#* 1 234 #$)/* 1- *5)#%,6#.- ’)($.)%( +//’)#+.)%* (. /012+ (!#$% %$’(% )*+,- !+. ,/01 ,23$43$ %$’(% ),+53 6- 0*+$#78 937$#7%: !+. ,/01 ,’,% ,!#$% ) 78*.-+#.9 9 34567 8 9:0:; 562:612 =09;7 41 562: ;6::612 7647;9 07; 4? @4A4B17 9;6@417B@:4C 0:;C6059 09 @C;0:;7 014:;C C;D45B:641 61 :; 69:4CE 4? :; 562:612 617B9:CE- FBCC;1:5E ,:; 0G4C ?0@:4C9 C;9:C6@:612 =C407 0AA56@0:641 4? 9;6@417B@:4C 562:612 7;D6@;9 0C; :; 54H 562: ;I:C0@:641 ;??6@6;1@E (;I:;C105 JB01:B ;??6K @6;1@E ),54H 562: ?5BI (0I6B 4A;C0:64105 A4H;C ),4D;C055 @49: A;C 5B;1 ,017 C;560=656:E 4C 56?; 8 :6; L; 562: ;I:C0@:641 ;??6@6;1@E 4? :; @6A9 09 H;55 09 :; 562: ?5BI 4? 6176D67B05 7;D6@;9 H655 =; 769@B99;7 61 @411;@K :641 H6: :; @6A 8 AC4@;99612 :;@145426;9 017 :; AE96@9 61D45D;7- :0;-,*9 9 (62: ;6::612 7647;9 ,3;6@417B@:4C 562:612 ,F6A9 ,/0M 特别是在同等照明亮度下,未来半导体照明的耗电 ’! 引言 量仅是白炽灯的’O , ,日光灯的’O $ - 由于半导体照 明具有体积小的特点,可塑性非常强,人们可以根据 爱迪生灯泡的发明,实现了人类历史上照明方 实际空间、光线要求,设计个性化光源,它将完全摆 法的一次革命,它为人类的各种活动带来了前所未 脱传统照明的观念- 半导体发光二极管作为照明光 有的便利,为人类文明的发展起了巨大的推动作用- 源就像晶体管取代电子管一样,大势所趋,不可阻 经过近% 多年的努力,以化合物半导体材料为发光 挡- 元件的半导体固态照明有望在未来的十几年内进入
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